৩০০ মিমি লাইনে, পরিষ্কার করার পরও অবশিষ্ট আর্দ্রতা একটি সমস্যা হয়ে দাঁড়ায়। এটা ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকের ভিতরে ঢুকে যায়, থার্মাল ব্যালেন্সকে বিঘ্নিত করে; ফলে এক্সপোজারের পর সমস্যা দেখা দেয়। ওয়েফার থেকে আর্দ্রতা অপসারণের জন্য হিটার ল্যাম্পগুলো ব্যবহৃত হয়—যাতে এই সমস্যাগুলো শুরু হওয়ার আগেই এগুলো নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল ফিলামেন্টযুক্ত শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন কোয়ার্টজ ল্যাম্প ব্যবহার করি; ফলে তাপ ঠিক সেখানেই পৌঁছায়—দ্রুত ও সঠিকভাবে। বেকিং জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; এটাই কারণ যার জন্য “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো ধারাবাহিকভাবে ব্যবহৃত হয়।
এই যন্ত্রটি Class 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার উপযোগী; এটা কম-গ্যাস-নির্গমনকারী উপাদান দিয়ে তৈরি, আর এর ডিজাইন দ্বারা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। ২০০°C থেকে ৪৫০°C পর্যন্ত এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; ফলে ডিহাইড্রেশন বেকিং ও পোস্ট-অ্যাপ্লাই স্ট্যাবিলাইজেশন সঠিকভাবে ঘটে।
কেন এটা কার্যকর?
০২:০০-এও বেকিং প্রক্রিয়াটি ১৪:০০-এর মতোই কাজ করতে হয়। এই ল্যাম্পটি সেই কাজটি সঠিকভাবে করে—পৃষ্ঠের আর্দ্রতা অপসারণ করে, এক্সপোজারের আগে রেজিস্টকে স্থিতিশীল করে, আর ডেভেলপ করার পর ছবিটিকে স্থিতিশীল করে। এর ফলে কম পুনর্কাজের প্রয়োজন হয়, কম বর্জ্য তৈরি হয়, আর CD নিয়ন্ত্রণও সঠিকভাবে হয়।
কী বিষয়গুলো লক্ষ্য করা উচিত?
স্ট্যান্ডার্ড ফিক্সচারে এটার ইনস্টলেশন সহজ; কিন্তু ল্যাম্পটির অবস্থান ঠিক রাখা জরুরি। ল্যাম্পটিকে নির্দিষ্ট ফোকাল অফসেটের মধ্যে রাখুন; অন্যথায় সমস্যা দেখা দেবে। কোয়ার্টজটিকে সঠিকভাবে সামলান—কোনো আঙুলের ছাপ বা অন্য কোনো পদার্থ লাগবে না। প্রথমবার ব্যবহার করার সময় চেম্বারের ইমিসিভিটি ও রিফ্লেক্টরের অবস্থা যাচাই করুন।
আউটপুট স্থিতিশীল হওয়ার জন্য কিছুক্ষণ সময় লাগে। তারপর সেটপয়েন্টটি স্থির রেখে প্রক্রিয়াটি চালিয়ে যান।