Když provozujete čistou místnost třídy 100, jediný zrnko prachu není jen otravou – je to katastrofa. Pokud začnou vaše topné elementy uvolňovat částice, celá vaše výroba bude zničena.
Proto nepoužíváme běžné sklo nebo levný křemень. Tyto materiály mají tendenci se rozpadat nebo uvolňovat ionty, když se teplota zvyšuje. Místo toho používáme vysoce čistý spálený křemень pro topné elementy. Zůstává stabilní, neuvolňuje plyny a dokáže odolat prudkým změnám teploty, aniž by došlo k poškození povrchu.
Udržování čistoty
Věnujeme velkou pozornost samotnému obalu z křemenu. Díky použití syntetické spálené síry se zbavujeme nečistot, které obvykle způsobují „zamlžování“ povrchu nebo uvolňování částic při zvyšování výkonu.
Jelikož se jedná o bezkontaktní metodu ohřevu, veškerou práci odvádí infračervené záření. Působí přímo na povrch waferu. Žádný kontakt, žádné tření – žádná šance na vznik mechanických vad.
Správná úroveň teploty
Je to otázka rovnováhy. Nastavujeme vlastnosti lamp tak, aby dosahovaly vysoké hustoty tepla, ale zároveň dbáme na výkon a napětí. Proč? Protože pokud do krátké trubice vložíte příliš mnoho wattů, v jejím středu vznikne horké místo.
Upravili jsme geometrii vlákna, abychom tomu zabránili. Díky tomu dochází k plynulému a rovnoměrnému zvyšování teploty. Pokud provádíte procesy typu CVD nebo zhušťování, víte, že konzistence je zásadní.
Podrobnosti o instalaci
Tyto lampy dodáváme s spojky s přesnou pasovností. Potřebujete pevný elektrický spoj. Volný spoj v čisté místnosti je noční můra – vede to k vzniku oblouků a nakonec i k kovovému prachu.
Jedna rada však: vysoce čistý křemén je trochu křehčí než průmyslové sklo, na které jste možná zvyklí. Rád snáší teplo, ale nerad se poškodí při pádu.
Chovejte se k nim opatrně. Používejte rukavice bez chloupků a vyhněte se jakýmkoli náhlým nárazům během instalace, jinak může dojít k prasklině v obalu.