Manteniendo las obleas MEMS impecables durante el proceso de secado
Cuando se secan las obleas de sensores MEMS, el calor es solo una parte del proceso. La verdadera batalla se libra contra las partículas. Si trabajas en una sala limpia de clase 100, ya sabes lo problemático que puede ser eso: un pequeño fragmento de fibra deteriorada o algo similar puede arruinar todo tu lote de obleas.
Por eso, utilizamos lámparas infrarrojas de cuarzo de alta pureza. Son la mejor opción.
¿Por qué es importante el cuarzo?
La mayoría del cuarzo estándar contiene impurezas. Cuando se calientan, estas impurezas se descomponen y liberan micropartículas en el flujo de aire. Eso no es bueno.
En cambio, utilizamos sílice fundida de alta pureza. Esta materia no se cristaliza ni libera partículas cuando se alterna rápidamente entre temperaturas altas y bajas. Permanece estable.
La forma en que funciona es bastante interesante: la radiación infrarroja afecta la capa líquida en la superficie de la oblea, haciendo que se evapore casi al instante. Dado que utilizamos un espectro de ondas cortas, la energía va directamente al agua. No es necesario calentar toda la cámara para secar las obleas.
Diseño eficiente para eliminar las impurezas
Revisamos detenidamente la estructura de la lámpara y eliminamos los adhesivos y resinas baratas que se suelen utilizar. Estos materiales son problemáticos, ya que liberan gases a altas temperaturas y dejan una capa química en los sensores.
En su lugar, utilizamos sellos mecánicos y aleaciones que pueden resistir el calor sin problemas.
Notarás que la superficie de la lámpara está pulida hasta alcanzar un brillo similar al de un espejo. Eso no es solo por estética; significa que no hay lugar donde las partículas puedan adherirse. Un consejo útil si vas a conectar estas lámparas en arrays de alta densidad: mantén la alimentación eléctrica estable. Si hay fluctuaciones de voltaje, el filamento vibrará. Si esto ocurre con frecuencia, la lámpara se quemará antes de tiempo.
La realidad
El cuarzo de alta pureza es un poco frágil. Puede soportar bien los cambios térmicos, pero no puede resistir impactos físicos. Si tu sistema tiene muchas vibraciones mecánicas, necesitarás soportes que reduzcan esas vibraciones para proteger las lámparas.
También debes prestar atención al sistema de extracción de humedad. Debido a la alta densidad de calor, es necesario eliminar rápidamente la humedad. De lo contrario, la condensación volverá a formarse en los bordes de las obleas.