En la línea de 300 mm, la humedad que queda atrapada después de la limpieza representa un problema silencioso que no se detecta hasta que es demasiado tarde. Esa humedad penetra en la capa de fotolito, perturbando el equilibrio térmico del sistema. Como resultado, se forman defectos en la superficie del wafer después de la exposición. La lámpara de calentamiento para eliminar la humedad del wafer está diseñada para evitar este problema desde su origen.
Lo importante en su funcionamiento Utilizamos lámparas de cuarzo halógeno de onda corta, con filamentos de respuesta rápida. De esta manera, el calor llega exactamente donde se necesita, de forma rápida y localizada. La precisión requerida es de ±0.1°C en toda la zona de cocción. Por eso, los parámetros de cocción suaves y duros se mantienen constantes, ciclo tras ciclo.
Esta unidad puede utilizarse en salas limpias de clase 1–100. Está fabricada con materiales que reducen la emisión de gases, y su diseño evita la generación de partículas. La salida de calor es estable entre 200°C y 450°C, con alta repetibilidad. Esto permite realizar la deshidratación y la estabilización posterior sin sobrecalentamientos.
Por qué funciona bien en el proceso productivo Es necesario que el proceso de cocción funcione de la misma manera a las 2:00 de la mañana que a las 2:00 de la tarde. Esta lámpara garantiza eso: elimina la humedad de la superficie, estabiliza el fotolito antes de la exposición y fija la imagen una vez completado el proceso de desarrollo. El resultado es menos trabajos de corrección, menos desperdicios y un control preciso de la calidad del producto.
El consumo energético disminuye, ya que la lámpara alcanza rápidamente la temperatura deseada y pasa de modo eficiente de estado de inactividad a estado de funcionamiento. Puede operar 24/7 sin interrupciones no planificadas. Al ser un equivalente directo de las lámparas de calentamiento originales, puede integrarse fácilmente en los sistemas existentes, sin necesidad de modificar todo el módulo.
Qué tener en cuenta La instalación es sencilla en los soportes estándar, pero es importante asegurarse de que la lámpara esté alineada correctamente. Mantenga la lámpara dentro del rango de enfoque especificado; de lo contrario, se observarán problemas relacionados con los bordes calientes. Trate el cuarzo con cuidado: no deje huellas dactilares ni solventes sobre él. Además, verifique la emisividad de la cámara y el estado del reflector durante la primera prueba.
Hay un breve período de tiempo durante el cual la salida de calor no es estable. Después de eso, se puede establecer la temperatura deseada y dejar que el proceso continúe.