در کارخانههای تولید، تغییر ۰٫۵ درجه سانتیگرادی در دمای پخت، میتواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد مهم قطعات شود؛ و این همان چیزی است که منجر به از دست رفتن مقدار زیادی محصول میشود. یکپارچگی حرارتی در سطح ویفر و الگوهای قابل تکرار فوتورزیست، مفاهیم نظری نیستند؛ بلکه ابزارهایی هستند که برای حفظ کیفیت محصول، باید در هر شیفت از آنها استفاده شود. فرستندههای مادون قرمز هالوژنی کوارتز، گرمای پایدار و منظمی را در جاهایی که مورد نیاز است، تأمین میکنند؛ جاهایی که کنترل حرارتی بسیار مهم است و فرآیند تولید اجازه خطا را نمیدهد.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: لامپهای هالوژنی کوارتز، موجهای کوتاه مادون قرمز را با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق تولید میکنند؛ بنابراین میتوانید دما را به سرعت تغییر دهید بدون اینکه از حد مجاز فراتر رود. ما طراحیهایی انجام دادهایم که یکپارچگی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ کند؛ تا فوتورزیست بتواند انرژی یکنواختی را در سراسر سطح دریافت کند. سازگاری این دستگاهها با محیطهای خنکشونده نیز در نظر گرفته شده است؛ در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذرهای تولید نمیشود، و این موضوع از طریق شمارش ذرات در محل تأیید میشود. خروجی این دستگاهها در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کارکرد، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ این امر امکان کارکرد ۲۴/۷ را فراهم میکند و نگهداری از دستگاهها را نیز آسانتر میسازد.
چرا این روش برای فرآیند لیتوگرافی مناسب است: خطوط لیتوگرافی به گرمایی نیاز دارند که با فرآیند تولید هماهنگ باشد؛ نه برعکس. این فرستندهها با الگوهای حرارتی فرآیند هماهنگ میشوند؛ این امر به کاهش تغییرات عرض خطوط کمک میکند و کیفیت تولید را بهبود میبخشد. شما میتوانید از فرآیندهای پخت یکنواخت برای کنترل تبخیر حلالها استفاده کنید؛ همچنین میتوانید از فرآیندهای پخت شدید برای تقویت چسبندگی مواد استفاده کنید، بدون اینکه نیاز به بازگرداندن ویفرها برای بازسازی باشد. کارایی این دستگاهها به دلیل اتصال قوی مادون قرمز و جرم حرارتی کم، بهبود مییابد؛ همچنین زمان توقف غیرمنتظره کاهش مییابد. خروجی دستگاهها پایدار میماند، سیستم خنککننده نیز کارایی خود را حفظ میکند، و نظارت بر عملکرد دستگاهها نیز از طریق رابطهای موجود انجام میشود. نتیجه این کار، کیفیت بالاتر محصولات، کاهش تعداد محصولات از دست رفته، و حفظ سطح OEE است.
چه چیزهایی برای نصب صحیح دستگاهها ضروری است: نصب دستگاهها به استفاده از منعکسکنندههای مناسب و سیستمهای خنککننده قابل اعتماد بستگی دارد. دستگاههای خنکشونده با هوا، باید جریان هوا را حفظ کنند؛ اگر جریان هوا کاهش یابد، کوارتز داغتر میشود و طیف گرمایی نیز تغییر میکند. باید دستگاهها را به سیستم کنترل حرارتی و سیستم ثبت دادههای SPC متصل کرد؛ تا مقادیر تنظیمی حفظ شوند و بتوانید تغییرات را در مراحل اولیه تشخیص دهید. برای رسیدن به حالت پایدار، نیاز به زمان کوتاهی برای گرم شدن دستگاهها وجود دارد؛ بنابراین زمان پخت نیز باید متناسب با این زمان تنظیم شود. وقتی که دستگاهها به درستی با فرآیند تولید هماهنگ شوند، میتوانند با دقت مورد نیاز برای تولید قطعات پیشرفته کار کنند.