כאשר מנהלים חדר נקי מסוג Class 100, גרגיר אבק אחד אינו רק מטרד – זו קטסטרופה. אם רכיבי החימום שלכם מתחילים לשחרר חלקיקים, כל המוצרים שלכם יהיו בטלים.
לכן אנו לא משתמשים בזכוכית רגילה או בקוורץ זול. חומרים אלה נוטים להתפרק או לשחרר יונים כאשר הם נחממים. במקום זאת, אנו משתמשים בקוורץ מזוקק ברמה גבוהה לצורך חימום הוופרים. הוא נשאר יציב, אינו שוחרר גזים, ויכול לעמוד בשינויי טמפרטורה חדים מבלי שהמשטח שלו ייהרס.
שמירה על ניקיון מושלם
אנו משקיעים הרבה מאמץ בחומר שמהווה את המעטפת של הקוורץ. באמצעות שימוש בסיליקה מזוקקת, אנו מונעים את החומרים הזרים שגורמים להיווצרות עננים או חלקיקים כאשר החום עולה.
ומכיוון שזו שיטת חימום ללא מגע, הקרינה האינפרא-אדומה היא זו שעושה את כל העבודה. היא פוגעת ישירות במשטח הוופר. אין צורך במגע, אין סיכוי להיווצרות פגמים מכאניים.
שליטה בטמפרטורה
זו בעיה של איזון. אנו גורמים לנורות שלנו להיות בעלות צפיפות חום גבוהה, אך אנו זהירים לגבי ההספק והמתח. למה? כי אם נשתמש בהספק גבוה מדי, נקבל נקודות חום גבוהות במרכז הוופר.
אנו משנים את גאומטריית החוטים כדי למנוע זאת. כך נוצרת עלייה חלקה ואחידה בטמפרטורה. אם אתם משתמשים בשיטות CVD או אנילינג, אתם יודעים שהעקביות היא הכל.
פרטים על ההתקנה
אנו שולחים את הנורות עם מחברים שמתאימים בדיוק להן. חיוני שהחיבור החשמלי יהיה חזק. חיבור לא טוב בחדר נקי יגרום לבעיות רבות – כמו פריצות חשמליות ובסופו של דבר להיווצרות אבק מתכתי.
חשוב לזכור: קוורץ ברמת טוהר גבוהה הוא פגיע יותר מזכוכית תעשייתית. הוא אוהב חום, אך שונא נפילות.
יש לטפל בו בזהירות. יש להשתמש בכפפות ללא סיבים, ויש להימנע משינויי טמפרטורה פתאומיים במהלך ההתקנה – אחרת עלולה להיווצר סדק במעטפת.