Out on the wafer floor, आप जानते हैं कि 0.2°C की भी मामूली डिफरेंस वाली सॉफ्ट बेक आपके क्रिटिकल डाइमेंशन्स को प्रभावित कर सकती है, और एज पर अधिक गर्म हार्ड बेक स्कम और रेसिड्यू छोड़ सकता है। हमने क्लीनरूम बेंच इन्फ्रारेड लैंप इस वेरिएबिलिटी को खत्म करने के लिए बनाया है।
क्या महत्वपूर्ण है
यह नियर-इन्फ्रारेड (NIR) क्वार्ट्ज एमिटर पर चलता है, जो तेज़, डायरेक्शनल हीटिंग करता है और थर्मल लैग बहुत कम होता है। पूरे इलुमिनेटेड क्षेत्र में, हम वेफर-लेवल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C पर बनाए रखते हैं, और क्लोज्ड-लूप कंट्रोल सेकंड्स में सेटपॉइंट पर स्थिर हो जाता है। हाउसिंग क्लीनरूम-कंपैटिबल है क्लास 1–100 के लिए, जिसमें सील्ड जंक्शन, कम आउटगैसिंग मटेरियल और एक आंतरिक एयरफ्लो पाथ होता है जो पार्टिकल जनरेशन को प्रति क्यूबिक फुट सिंगल-डिजिट काउंट तक रोकता है। आउटपुट 5,000+ घंटे तक स्थिर रहता है, और रन-टू-रन रिपीटेबिलिटी बरकरार रहती है।
लिथोग्राफी में, आपको एक लगातार सॉफ्ट बेक चाहिए जो सॉल्वेंट्स को साफ़-सुथरे तरीके से बाहर निकाले, और एक हार्ड बेक जो फोटोरेसिस्ट को बिना किसी अनपेक्षित परिणाम के सेट करे। यह लैंप दोनों देता है, थर्मल बजट के सख्त नियंत्रण के साथ। इसका परिणाम बेहतर CD यूनिफॉर्मिटी और छोटे एज बीड के रूप में आता है।
इसके अलावा, तेज़ प्रतिक्रिया बेक टाइम को कम करती है, जिससे ऊर्जा की खपत घटती है और थ्रूपुट बढ़ता है। आप प्रोसेस मार्जिन भी बढ़ाते हैं, खासकर थिन रेसिस्ट और मल्टी-लेयर स्टैक्स पर। स्क्रैप लॉट कम होते हैं। रिअवर्क कम होता है।
कुछ व्यावहारिक बातें: लैंप को एक समर्पित, फ़िल्टर्ड पावर फ़ीड चाहिए, और इसे इतनी क्लियरेंस के साथ माउंट करना होता है कि शैडोइंग या स्थानीय ओवरहीटिंग न हो। सतह तापमान संचालन के दौरान सुरक्षित हैंडलिंग से काफी ऊपर पहुंच सकता है, इसलिए गार्ड्स और इंटरलॉक्स की योजना बनाएं। सर्वोत्तम परिणामों के लिए, एमिटर स्पेक्ट्रम को अपने रेसिस्ट स्टैक से मिलाएं और तापमान हाउसिंग पर नहीं, वेफर प्लेन पर कैलिब्रेट करें।