Role
आप निरंतरता बनाए रखने वाले रेसिस्ट बेक तापमान में 0.2°C के बदलाव को “छोटा विचलन” नहीं मान सकते। यह यील्ड का सीधे बाहर जाना है। सॉफ्ट बेक सॉल्वेंट प्रोफाइल सेट करता है। हार्ड बेक इमेज को लॉक करता है। दोनों के लिए ताप की आपूर्ति लगातार होनी चाहिए, वेफर दर वेफर। जब बेक प्रोफ़ाइल डगमगाता है, तो CD नियंत्रण में कमी आती है, स्कम जमा होता है, और डेवलपमेंट के बाद रिंस अवशेष दिखने लगते हैं।
हमारा DUV रेसिस्ट बेक लैंप नजदीकी इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करके सब-मिलीमीटर समानता के साथ स्थिर थर्मल फील्ड बनाता है। आपको वेफर-स्तरीय तापमान नियंत्रण मिलता है जो कड़े थर्मल बजट के भीतर रहता है, जिससे हर सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक पिछले रन के समान होता है। इन्फ्रारेड ऊर्जा सीधे रेसिस्ट में प्रवेश करती है, जिससे लैग और ओवरशूट कम होता है। पुनरावृत्ति कोई स्लोगन नहीं है—यह सेटपॉइंट के बाद सेटपॉइंट, साइकिल के बाद साइकिल स्पष्ट होता है।
संक्षेप में? यह लगातार रहता है क्योंकि गर्मी वहीं जाती है जहां जरूरत होती है, जब जरूरत होती है।
यह लैंप क्लास 1 से क्लास 100 तक की क्लीनरूम आवश्यकताओं के अनुरूप है। यह कम पार्टिकल उत्पन्न करता है और एयरस्ट्रीम से बाहर रहता है। सून्य पार्टिकल जनरेशन रेसिस्ट स्टैक को साफ रखता है, और यूनिट बिना अनियोजित रुकावट के 24/7 चलती रहती है। इससे क्रिटिकल डायमेंशन्स में कड़ाई आती है, रिवर्क लॉट कम होते हैं, और DUV फोटोरेसिस्ट पर बेक प्रदर्शन पूर्वानुमानित रहता है। ऊर्जा की खपत कम होती है क्योंकि गर्मी मांग पर दी जाती है, चैंबर मास को गर्म करने में बर्बाद नहीं होती।
इंस्टॉलेशन पर ध्यान देने योग्य बातें: ओरिएंटेशन और एयरफ्लो पर ध्यान दें। लैंप तब सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है जब ऑप्टिकल पाथ साफ रहता है और लक्ष्य के आसपास थर्मल मास नियंत्रित होता है। आपके मौजूदा बेक स्टेशन के फुटप्रिंट के साथ लैंप को मिलाने के लिए मामूली मैकेनिकल समायोजन की आवश्यकता हो सकती है। रेसिपी लॉक करने के लिए एक छोटा कमिशनिंग रन योजना बनाएं, उसके बाद प्रक्रिया स्थिर रहती है।