Di fasilitas litografi, suhu pemanasan yang tepat bukanlah hal yang bisa diabaikan—itu merupakan batasan yang harus dipatuhi. Diperlukan proses...

Pada lantai litografi, pergeseran suhu pemanggangan resist sebesar 0,2°C bukanlah “deviasi kecil.” Itu berarti hasil produksi yang hilang. Soft bake...