Quando si gestisce una sala pulita di classe 100, anche una singola particella di polvere rappresenta un grosso problema: è davvero un disastro. Se gli elementi riscaldanti iniziano a rilasciare particelle, l’intero lotto di prodotti va sprecato.
Ecco perché non utilizziamo vetri comuni o quarzo di scarsa qualità. Questi materiali tendono a screpolarsi o a rilasciare ioni quando vengono sottoposti a temperature elevate. Invece, utilizziamo quarzo fuso ad alta purezza per i nostri elementi riscaldanti. Questo materiale rimane stabile, non rilascia gas e riesce a sopportare cambiamenti di temperatura rapidi senza che la superficie si danneggi.
Mantenere tutto impeccabile
Diamo molta importanza alla struttura stessa del quarzo. Utilizzando silice sintetica fusa, eliminiamo le impurità che solitamente causano problemi legati alla formazione di particelle durante l’aumento della potenza di riscaldamento.
Poiché si tratta di un metodo di riscaldamento a contatto zero, è la radiazione infrarossa a svolgere il lavoro. Essa colpisce direttamente la superficie del wafer. Non c’è alcun rischio di danni meccanici.
Ottenere la giusta temperatura
Si tratta di trovare un equilibrio preciso. Regoliamo la potenza delle lampade affinché producano una densità di calore elevata, ma prestiamo attenzione alla potenza e alla tensione utilizzate. Perché? Perché se si applica troppa energia in un tubo corto, si creerà un punto caldo proprio al centro del wafer.
Abbiamo modificato la geometria dei filamenti per evitare questo problema. In questo modo si ottiene un aumento di temperatura uniforme. Se si effettuano processi come CVD o annealing, è fondamentale avere una temperatura costante.
Dettagli sull’installazione
Le lampade vengono spedite con connettori progettati per garantire un’ottima tenuta elettrica. Una connessione debole in una sala pulita è un vero disastro: può causare cortocircuiti e, alla fine, la formazione di polvere metallica.
Un consiglio importante: il quarzo ad alta purezza è un po’ più fragile rispetto al vetro industriale a cui siamo abituati. Amava il calore, ma odia essere lasciato cadere.
Trattatelo con cura: utilizzate guanti senza pelucchi e evitate shock improvvisi durante l’installazione, altrimenti potrebbero formarsi delle crepe nella struttura del quarzo.