MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열만으로는 부족합니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다. 만약 클래스 100 등급의 클린룸에서 작업한다면, 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 조금만 낡은 필라멘트 조각이나 가...