Mengurangkan Pelepasan Karbon di Dalam Kilang Semikonduktor: Mengapa Pemanasan Inframerah Berkesan
Sejujurnya, kilang semikonduktor merupakan pengguna tenaga yang sangat tinggi. Jika anda pernah bekerja di sana, anda pasti tahu betapa mahalnya kos tenaga yang digunakan. Kebanyakan peralatan pembersihan lama bergantung pada kaedah pemanasan resistif atau kitaran pemanasan yang membuang tenaga secara sia-sia. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Itulah sebabnya kita melihat peningkatan penggunaan sistem pemanasan inframerah gelombang pendek (SWIR). Ia merupakan cara yang lebih efisien untuk mengurangkan pelepasan karbon tanpa menjejaskan produktiviti.
Mengapa fizik penting dalam hal ini
Kaedah pemanasan konvensional merupakan cara yang tidak efisien. Ia cuba memanaskan udara atau dinding bilik sebelum haba sampai ke wafer tersebut. Ini merupakan pembaziran elektrik.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia memanaskan permukaan wafer secara langsung. Dengan menggunakan panjang gelombang yang sesuai, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangkan. Proses ini berlaku dengan cepat. Dan kerana kitaran pemanasan yang lebih singkat, mesin tidak perlu menggunakan tenaga yang banyak sepanjang hari.
Memasangnya ke dalam bilik bersih
Tiada siapa yang mahu mengganti keseluruhan peralatan hanya untuk mengganti pemanas. Ini merupakan masalah yang besar.
Kami merancang lampu inframerah ini agar boleh dipasang di tempat yang sama seperti peralatan sedia ada. Untuk memastikan kepadatan haba yang tinggi tanpa membuat lampu menjadi terlalu besar, kebanyakan lampu ini menggunakan voltan yang lebih tinggi. Ini membolehkan lampu tersebut tetap kompak.
Namun, ada satu cabaran. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Lampu inframerah yang berkepadatan tinggi akan menghasilkan banyak tenaga haba, namun sebahagian daripada haba tersebut akan kembali ke badan lampu itu sendiri. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, mesin akan berhenti berfungsi. Tiada siapa yang mahu menghadapi situasi seperti ini pada hari Selasa petang.
Kesan sebenar
Apabila anda beralih kepada penggunaan lampu inframerah, penggunaan tenaga per wafer akan berkurangan. Ia merupakan pengganti yang baik untuk proses pengeringan.
Kelebihan utamanya adalah peningkatan kelajuan proses pengeluaran. Jika masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangkan dari 10 minit menjadi 2 minit, maka pelepasan karbon per unit juga akan berkurangan.
Tentu saja, ada juga kelemahannya. Lampu inframerah yang berintensiti tinggi tidak tahan lama seperti wayar resistif lama. Anda perlu melakukan penyelenggaraan yang lebih kerap. Namun, penjimatan tenaga yang diperoleh biasanya menjadikan penggunaan lampu inframerah sebagai pilihan yang tepat.