Op de afdeling voor lithografie leer je snel dat zelfs een verschil van een halve graad in de temperatuur al voldoende is om de kwaliteit van de CD’s te beïnvloeden. Als de hitteoverdracht aan de randen te groot wordt, ontstaan er oneffenheden die het mogelijk maken om de producten niet te controleren. Het verhitten van de siliciumplaten is geen onbelangrijk onderdeel van het proces; het bepaalt namelijk de thermische condities voor iedere laag die wordt gemaakt. Als de uniformiteit niet goed is, kan het product niet worden geleverd – je moet dan de hele dag bezig zijn met het verbeteren van de kwaliteit.
Wat technisch gezien belangrijk is Wij maken gebruik van gecontroleerde infraroodbronnen – zowel kortegolfrige als middengolfrige – in combinatie met kwarts-halogeencomponenten, zodat er een stabiele en snelle respons wordt gegenereerd. Het belangrijkste criterium is de herhaalbare uniformiteit: ±0,1°C over het oppervlak van de siliciumplaat tijdens het verhitten. Het is ook belangrijk dat het systeem geschikt is voor gebruik in schone ruimtes, dus het systeem moet kunnen werken in omgevingen met klasse 1–100, zonder dat er particules worden gegenereerd en met minimale uitstoot van gasen. Het systeem werkt 24/7, met constante monitoring van de lampen en nauwkeurige regeling van de stroomtoevoer. Hierdoor blijft de gewenste temperatuur behouden.
Het voordeel is dat je zowel het zachte als het harde verhittingsproces met dezelfde thermische parameters kunt uitvoeren. Dit zorgt voor minder variatie in de kwaliteit van de producten, minder herwerking en hogere opbrengsten. De energieverbruik neemt af, omdat de lampen alleen op vraag worden verhit, met minimale thermische massa. Bovendien vereist het systeem minder onderhoud, waardoor het proces soepeler kan verlopen. In fabrieken waar grote hoeveelheden producten worden geproduceerd, leidt een stabiel verwarmingssysteem tot minder stilstand van de productielijn en lagere kosten per siliciumplaat.
Er zijn echter enkele factoren die je moet meenemen in je planning. Het systeem heeft een stabiele spanning nodig en goede warmtetoevoer bij de lampen. Afwijkingen in de spanning leiden tot onregelmatigheden in de temperatuur. De toleranties voor de installatie zijn strikt, want de alignering heeft invloed op het verlichtingsprofiel en daarmee op de uniformiteit. Plan de ruimte goed in – retrofittingen kunnen compact zijn, maar er moet rekening worden gehouden met de luchtcirculatie en bescherming tegen particules.