W procesie litografii temperatura podczas procesu wypalania nie jest kwestią wyboru – to raczej surowy limit, który musi być przestrzegany. Konieczne jest regularne usuwanie rozpuszczalników na całej powierzchni płytki krzemowej. Choćby niewielka odchylenie temperatury lub lokalne nagrzewanie może doprowadzić do straty kontroli nad jakością produktu. Stworzyliśmy element grzewczy, który może funkcjonować w tym warunkach, dzień po dniu.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Element grzewczy pracuje w zakresie krótkofalowych promieni infrarażowych (NIR), wykorzystując kwarc-halogeny. Dzięki temu uzyskujemy szybką reakcję termiczną oraz precyzyjną kontrolę temperatury. Celowa temperatura jest utrzymywana w przedziale ±0,1°C na całej powierzchni płytki krzemowej, dzięki czemu efekty termiczne są identyczne przy każdym cyklu obróbki. Element grzewczy jest dostosowany do warunków panujących w salach czystych: używane są materiały odpowiadające standardom klasy 1–100, nie dochodzi do tworzenia się cząstek podczas pracy, a powierzchnia elementu ma taką strukturę, która minimalizuje występowanie wad.
Niezawodność uzależniona jest od czasu pracy urządzenia. Te urządzenia pracują 24/7 w wielostronnych systemach litograficznych bez żadnych przerw, a ich żywotność przekracza 5 000 godzin przy minimalnych odchyleniach parametrów.
Dlaczego to rozwiązanie jest skuteczne? Proces wypalania wpływa na napięcie, lepkość i przyczepność fotorezystu. Dzięki temu elemencie parowanie rozpuszczalników jest regularne, problem z bruzdami na krawędziach płytki zmniejsza się, a jakość produktu poprawia się przy wykorzystaniu zaawansowanych technologii. Szybkie nagrzewanie skraca czas procesu, a stabilna temperatura zmniejsza ilość odpadków i konieczności ponownej obróbki.
Koszt energii jest niższy ze względu na małą masę cieplną urządzenia oraz precyzyjną kontrolę temperatury. Mniejsza liczba wymian części oznacza też mniej części zapasowych i mniej prace konserwacyjnych – szczególnie w fabrykach, gdzie produkowane są różnorakie produkty.
Co należy wiedzieć? To rozwiązanie jest bezpośrednim odpowiednikiem międzynarodowych standardów sprzętu semikondukcyjnego, ale jego integracja nie jest prostym procesem. Napięcie, interfejs konektora, tolerancje montażowe oraz przepływ powietrza wokół elementu grzewczego muszą być dostosowane – błędy w tych aspektach mogą negatywnie wpłynąć na jakość produktu.
Przed zainstalowaniem urządzenia koniecznie skonsultuj się z naszym zespołem ds. procesów technologicznych co do dokładnych wymagań dotyczących rozmiaru komory i profilu termicznego. Ponadto warto wykonać krótki test, aby sprawdzić efektywność urządzenia.