W linii 300 mm wilgoć, która pozostaje po procesie czyszczenia, stanowi „cichy wroga”, którego nie odnotowujemy, dopóki nie jest już za późno. Wilgoć przenika do warstwy fotorezystu, zaburza równowagę termiczną i powoduje problemy z jakością produktu po eksponowaniu. Lampa do usuwania wilgoci z płytek została zaprojektowana tak, aby zapobiec temu problemowi na samym początku procesu.
Co jest istotne pod względem technicznym? Używamy halogenowych lamp kwarcowych o krótkich falach, które posiadają żarniki o szybkiej reakcji. Dzięki temu ciepło dociera tam, gdzie jest potrzebne – szybko i w precyzyjny sposób. Jakość termiczna na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, dlatego profile obróbki cieplnej pozostają niezmienne z sesji na sesję.
Urządzenie nadaje się do użytku w pomieszczeniach klasy 1–100, jest zbudowane z materiałów o niskiej emisji gazów, a jego konstrukcja zapewnia brak tworzenia się cząstek. Temperatura pracy wynosi od 200°C do 450°C, przy dużym stopniu powtarzalności, dzięki czemu proces odparowywania wilgoci oraz stabilizacja produktu przebiega bez żadnych zakłóceń termicznych.
Dlaczego urządzenie sprawdza się w praktyce? Proces obróbki cieplnej musi przebiegać tak samo o godzinie 02:00, jak i o godzinie 14:00. Ta lampa zapewnia taką spójność: usуwa wilgoć z powierzchni płytki, stabilizuje fotorezyst przed eksponowaniem, a potem utrwala obraz po procesie wywoływania. Dzięki temu mniej jest potrzeby ponawiania procesu, mniej odpadów, a kontrola jakości jest precyzyjna.
Użycie energii jest niskie, ponieważ lampa szybko osiąga żądany poziom temperatury i przełącza się bez przerw między stanem spoczynku a pracą. Może pracować 24/7 bez przerw. Jako odpowiednik lamp producenta, można ją bezpośrednio zastosować w istniejących systemach obróbki – nie trzeba ponownie kalibrować całego modułu.
Na co należy zwrócić uwagę? Instalacja jest prosta, jeśli chodzi o standardowe oprawy, ale ważna jest prawidłowa synchronizacja elementów urządzenia. Lampa musi znajdować się w określonym odległości od powierzchni płytki; w przeciwnym razie pojawią się problemy z temperaturą na brzegach płytki. Trzeba też uważać na obsługę kwarcu – bez odcisków palców, bez rozpuszczalników na obudowie. Należy również sprawdzić emisyjność komory i stan reflektora już przy pierwszym użyciu.
Podczas stabilizacji wydajności lampy istnieje krótki okres adaptacji. Po tym czasie można ustalić stałą temperaturę i pozwolić procesowi przebiegać dalej.