На литографическом этаже дрейф температуры запекания резиста на 0,2°C — это не «небольшое отклонение». Это потеря выхода годных изделий. Мягкое запекание задаёт профиль растворителя. Жёсткое запекание фиксирует изображение. Для обоих этапов необходима повторяемая подача тепла, с одной пластины на другую. При колебаниях профиля запекания управление критическими размерами (CD) ухудшается, остаётся налёт, а после проявления появляются остатки от промывки.
Лампа запекания DUV резиста использует ближнее инфракрасное излучение для создания стабильного теплового поля с субмиллиметровой однородностью. Это обеспечивает контроль температуры на уровне пластины в рамках жёстких тепловых допусков, так что каждое мягкое и жёсткое запекание выполняется точно так же, как и в предыдущем цикле. Инфракрасная энергия напрямую взаимодействует с резистом, что сокращает задержки и превышения температуры. Повторяемость не является просто лозунгом — она проявляется в каждом установленном значении, в каждом цикле.
Кратко: стабильность достигается за счёт того, что тепло поступает туда, где оно необходимо, именно тогда, когда это нужно.
Лампа соответствует требованиям чистых помещений классов от Class 1 до Class 100. Она генерирует низкий уровень частиц и не попадает в воздушный поток. Отсутствие генерации частиц сохраняет чистоту слоя резиста, а устройство может работать круглосуточно без вынужденных остановок. В итоге достигается более точное соблюдение критических размеров, сокращается количество партий на доработку и обеспечивается предсказуемая производительность запекания DUV фоторезиста. Энергопотребление снижается за счёт подачи тепла по требованию, без излишнего нагрева массы камеры.
Что важно при установке: обратите внимание на ориентацию и направление воздушного потока. Лампа работает эффективнее всего, когда оптический путь остаётся чистым, а тепловая масса вокруг цели контролируется. Для адаптации лампы к существующей станции запекания могут потребоваться незначительные механические доработки. Запланируйте короткий пусковой прогон для закрепления рецепта, после чего процесс останется стабильным.