Когда вы управляете чистой комнатой класса 100, даже одна крошечная частица пыли может стать причиной серьезных проблем. Если нагревательные элементы начинают отделять частицы, вся партия продукции будет испорчена.
Поэтому мы не используем обычное стекло или дешевый кварц. Эти материалы при высоких температурах начинают трескаться или выделять ионы. Вместо этого мы используем высокочистый сплавленный кварц для нагревателей. Он остается стабильным, не выделяет газы и может выдерживать резкие изменения температуры без повреждения своей поверхности.
Сохранение чистоты
Мы уделяем особое внимание самой оболочке из кварца. Благодаря использованию синтетического сплавленного кремния мы избегаем примесей, которые могут вызвать появление “областей затуманенности” или отделение частиц при повышении мощности нагревателя.
Поскольку это метод нагрева без контакта, инфракрасное излучение выполняет всю работу. Оно попадает непосредственно на поверхность пластины. Нет необходимости в физическом контакте, что полностью исключает возможность появления механических дефектов.
Точное регулирование температуры
Это сложная задача. Мы выбираем лампы с высокой плотностью тепла, но при этом аккуратно контролируем мощность и напряжение. Почему? Потому что если в короткий трубчатый элемент подать слишком большую мощность, в центре пластины образуется очаг высокой температуры.
Мы скорректировали форму нити нагревателя, чтобы этого не происходило. Таким образом достигается равномерное повышение температуры. Если вы используете метод CVD или аннелинга, вы знаете, что ключевым фактором является последовательность действий.
Детали установки
Мы поставляем эти лампы с соединителями, которые обеспечивают точный электрический контакт. Необходимо обеспечить надежный контакт. Небрежное подключение в чистой комнате приводит к проблемам, связанным с электрическими разрядами, а в конечном итоге — к появлению металлической пыли.
Еще один совет: высокочистый кварц более хрупкий, чем промышленное стекло. Ему подходят высокие температуры, но он не переносит падения.
Обращайтесь с ними осторожно. Используйте перчатки без ворсинок и избегайте резких ударов во время установки, иначе на оболочке могут появиться трещины.