Почему мы используем инфракрасное излучение для обработки полупроводниковых пластин
При сушке и отверждении полупроводниковых пластин наиболее эффективным способом является использование инфракрасного излучения. Это позволяет избавиться от необходимости использования химикатов на основе растворителей, а также от громоздких конвекционных печей, которые долго нагреваются.
Секрет заключается в том, что инфракрасное излучение воздействует на определенные молекулярные колебания в клее или фотополимере. Это способствует отверждению материала именно в том месте, где это необходимо, без необходимости нагревания всего устройства.
Сокращение расхода энергии
Нагрев воздуха — это просто расточительство энергии. Так работали старые печи, и это приводило к значительным затратам на электроэнергию. С помощью инфракрасных ламп используется электромагнитное излучение, которое проходит сквозь воздух и мгновенно воздействует на поверхность пластины. Это очень быстро.
Поскольку тепло поступает напрямую в материал, устройство не требует значительных затрат на нагрев. Не нужно поддерживать постоянную температуру всего устройства; достаточно направить энергию именно туда, где это необходимо.
Экологичность без сложностей
Требования к использованию бесопасных и экологичных материалов ставят перед нами сложные задачи. Мы больше не можем использовать тяжелые металлы или токсичные растворители для ускорения процесса. Но можно просто изменить длину волны излучения. Будь то коротковолновое или средневолновое излучение, мы можем выбрать такой спектр света, который будет эффективно воздействовать на материал. Таким образом, процесс отверждения происходит только при помощи света и тепла. Никаких опасных добавок, никаких токсичных средств. Просто чистая физика.
Сложности и компромиссы
Конечно, все не так просто. Хотя мы получаем высокую скорость и чистоту процесса, необходимо быть осторожными с интенсивностью теплового излучения. Если инфракрасные лампы работают слишком интенсивно, а температура не равномерна, это может привести к деформации пластин. Чтого этого избежать, необходимо использовать систему датчиков, которые контролируют поверхность в реальном времени. Также важно контролировать процесс охлаждения. Если система не справляется с тепловыми нагрузками, другие компоненты могут повредиться. Обычно мы используем систему закрытого контура обратной связи. Это самый надежный способ избежать повреждений пластин в процессе обработки.