Waferlerin Kirlenmesini Başlamadan Önleyin: IR Lambalarını Daha İyi Kullanmanın Yolu
Yüksek üretim kapasiteli yarı iletken tesislerinde bir lambanın patlaması sadece bir sorun veya kısa süreli iş durması değildir; bu bir kabus gibidir.
Kvars tüpünün waferlerin üzerinde bozulduğunu hayal edin. Sadece kırık bir ampulle karşı karşıya kalmış olmuyorsunuz; aynı zamanda cam parçaları ve kimyasal maddelerin tüm parti ürünleri mahvetmesiyle de karşı karşıyasınız. Bu durum gerçekten berbat. İşte bu yüzden, bu riskin ortaya çıkmasından önce onu ortadan kaldırmak için oksijensiz IR lambalar geliştirdik.
Ozonla İlgili Sorunlar
Standart kısa dalga boylu IR lambalarının dezavantajı şudur: 185 nm aralığında radyasyon yayılırlar. Bu teknik bir terim gibi görünse de aslında bu lambalar etraflarındaki havayı oksijene dönüştürürler.
Temiz odalarda oksijen temelde aşındırıcı bir gazdır. Waferler üzerindeki organik katmanları tahrip eder. Bunu önlemek için, vakum-UV dalga boylarını filtreleyen özel katkı maddeleri ve kvars tüpleri kullanıyoruz. Hızlı kuruma için gereken tüm ısıyı elde edebilirsiniz, ancak kötü kimyasal etkilerden kaçınmış olursunuz.
Parçalanmayı Önleme
Buradaki asıl sorun termal şoktur. Lambaları hızla açıp kapattığınızda kvars tüpü genişler ve büzülür ve sonunda kırılır.
Bu sorunu önlemek için yüksek saflıkta füzyon kvarsı kullanıyoruz; böylece tüpler daha dayanıklı hale geliyor. Ama bu kadarla da kalmadık. Koruyucu kılıflar ve güvenlik ağı görevi gören özel kaplamalar ekledik. Eğer içtaki filaman bozulursa veya tüp çatlarsa, dış kılıf parçaları tutar. Böylece silikonunuz temiz kalır.
Tercihler (Çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Dürüst olmak gerekirse, küçük bir dezavantaj var. Oksijensiz kaplamalar, kızılötesi ışığın bir kısmını engeller. Bu durumda ısı miktarında %5-10’luk bir düşüş olabilir. Bu büyük bir sorun değil, ancak bunu telafi etmek için gücü artırmanız veya waferlerin biraz daha uzun süre orada kalmasını sağlamanız gerekebilir.
Bir diğer ipucu: Soğutma sistemine dikkat edin. Bu lambalar ısıyı genellikle uç kısımlarda yoğunlaştırır. Eğer hava akışı lambanın boyutlarına uygun değilse, elektrotlarınız beklenenden çok daha hızlı aşınır.