300 mm hatlarında, temizleme işleminden sonra kalan nem, çok geç olana kadar fark edilmeyen bir sorundur. Bu nem, foto direnç tabakasına sızar, termal dengeleri bozar ve pozlamadan sonra çeşitli sorunlara yol açar. Wafer’deki nemi gidermek için özel ısıtıcı lambalar kullanılır; bunların amacı bu tür sorunların kaynağında önlenmesidir.
Önemli olan detaylar
Hızlı tepki veren filamlara sahip kısa dalga uzunluğunda halojen kuvars lambalar kullanılır; böylece ısı gereken yere hızlı ve lokal olarak iletilir. Isı dağılımının ±0,1°C civarında olması gerekmektedir. İşte bu yüzden hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri aynı şekilde uygulanır.
Bu cihaz, düşük gaz salınımı olan malzemelerden yapılmış olup, parçacık üretimini sıfıra indiren bir tasarıma sahiptir. 200°C ile 450°C arasında sabit bir çıktı elde edilir ve tekrarlanabilirlik oldukça yüksektir. Böylece dehidrasyon işlemi ve sonrasındaki stabilizasyon işlemleri sorunsuz bir şekilde gerçekleşir.
Neden etkili oluyor?
Pişirme işleminin 02:00’de de 14:00’te olduğu gibi aynı şekilde işlemesi gerekmektedir. Bu lamba bu disiplini sağlar: Yüzeydeki nemi giderir, pozlamadan önce direnci stabilize eder ve geliştirme işleminden sonra görüntüyü sabitler. Bunun sonucunda daha az yeniden işleme ihtiyacı, daha az atık oluşur ve CD kalitesi kontrol altında tutulur.
Enerji tüketimi ise, cihazın hızlı bir şekilde belirlenen sıcaklığa ulaşması ve boş durumdan işlem moduna geçmesi sayesinde azalır. Cihaz 7/24 çalışabilir ve planlanmamış arızalar olmaz. OEM ısıtıcı lambalarına eşdeğer olarak, mevcut kaplama/pişirme sistemlerine doğrudan entegre edilebilir; dolayısıyla tüm modülün yeniden kalibre edilmesine gerek yoktur.
Dikkat edilmesi gerekenler
Standart montaj ekipmanlarıyla kurulumu oldukça basittir; ancak hizalama önemlidir. Lambayı belirtilen odak noktası içinde tutun; aksi takdirde ısı dengesizlikleri oluşur. Kuvars lambayı dikkatli bir şekilde kullanın; parmak izleri veya solventlerin lambaya bulaşmasını önleyin. Ayrıca ilk kullanımda odanın emisyon değerlerini ve reflektörün durumunu kontrol edin.
Çıktının stabil hale gelmesi için kısa bir süre beklenmelidir. Bundan sonra belirlenen sıcaklık sabitlenir ve işlem devam eder.