Коли ви керуєте чистою кімнатою класу 100, навіть одна крапля пилу є серйозною проблемою – це справжня катастрофа. Якщо елементи нагріву починають виділяти частинки, вся продукція стає непридатною до використання.
Саме тому ми не використовуємо звичайне скло чи дешевий кварц. Ці матеріали при нагріванні починають тріскатися чи виділяти іони. Натомість ми використовуємо високочистий сплавлений кварц для нагрівачів. Він залишається стабільним, не виділяє газів та може витримувати різкі зміни температури без пошкодження поверхні.
Підтримання чистоти Ми приділяємо багато уваги самій оболонці з кварцу. Використовуючи синтетичний сплавлений кремнезем, ми усуваємо домішки, які зазвичай спричиняють „затуманення“ поверхні чи виділення частинок під час підвищення потужності нагріву.
Оскільки це метод нагріву без контакту, інфрачервоне випромінювання виконує всю роботу. Воно потрапляє безпосередньо на поверхню пластини. Немає жодного ризику пошкодження поверхні через фізичний контакт.
Правильна температура Це процес балансування. Ми встановлюємо параметри ламп так, щоб досягти високої щільності тепла, але при цьому уважно контролюємо потужність та напругу. Чому? Тому що якщо вставити занадто багато потужності в короткий трубчастий елемент, у центрі пластини буде точка надмірного нагріву.
Ми скоригували геометрію філамента, щоб цього не сталося. Таким чином досягається рівномірне підвищення температури. Якщо ви виконуєте процедури типу CVD чи анілінгу, ви знаєте, що послідовність є ключовою.
Деталі щодо встановлення Лампи постачаються з конекторами, які забезпечують щільний електричний з’єднання. Нестабільне з’єднання в чистій кімнаті є серйозною проблемою – це призводить до пробоїв та, в кінцевому підсумку, до утворення металевого пилу.
Однак слід пам’ятати, що високочистий кварц є трохи більш крихким, ніж промислове скло. Він любить тепло, але не переносить ударів.
Будьте обережні під час встановлення. Використовуйте рукавички без ворсу та уникайте раптових ударів – інакше на оболонці можуть з’явитися тріщини.