На виробничій лінії стабільність температури є не просто бажаним елементом, а обов’язковою умовою для правильної роботи обладнання. Навіть незначні зміни температури під час обробки фотолужного шару – навіть кілька десятих градуса – можуть порушити контроль за параметрами процесу та призвести до значних втрат.
Старомодні нагрівачі часто не виконують своїх функцій: у них неоднорідна форма нагріву, наявні частинки, а також періоди несправності саме тоді, коли це найменше можливо. Ми розробили спеціальні нагрівачі для обладнання з полупровідниками, які дозволяють задовольнити високі теплові вимоги сучасного виробництва пластин.
Що є важливим при роботі обладнання
Ми використовуємо емітери на основі кварцу, які випромінюють инфрачервоне світло короткої довжини хвилі. Вони швидко нагрівають потрібну ділянку та швидко досягають постійної температури. Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, що допомагає зберегти якість фотолужного шару під час процедур нагріву.
Цей нагрівач може працювати в умовах чистих приміщень класу 1–100, не створюючи додаткових частинок. Ми перевіряємо це за допомогою системи контролю наявності частинок. Коли обладнання працює 24/7, повторюваність результатів залишається стабільною – температурна крива залишається однаковою з циклу в цикл.
Чому це ефективно
Літографія та обробка фотолужного шару вимагають суворого контролю температури. Якщо температура підтримується на однаковому рівні, то можна досягти кращого контролю товщини ліній, меншої кількості дефектів та передбачуваних результатів процесу етchingу.
Швидка реакція нагрівача дозволяє скоротити час нагріву без перевищення температури, що підвищує продуктивність обладнання. Ми нагріваємо лише ті ділянки, які це необхідно, що зменшує споживання енергії. Надійність обладнання допомагає уникнути непланових зупинок – менше перерв, менше втручань та менше зіпсованих пластин.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно врахувати інтерфейс обладнання та тепловий навантаження. Нагрівач має бути налаштований відповідно до геометрії нагрівальної плати та потоку повітря.
Очікуйте короткий період налаштувань для визначення правильних значень температури та перевірки рівномірності. Після налаштування обладнання буде працювати з мінімальними корекціями, за умови, що тепловий зв’язок та потік повітря залишатимуться на тому ж рівні.