فیکٹری میں، اسٹیپر لیمپ صرف روشنی فراہم کرنے کے لئے استعمال نہیں ہوتا؛ بلکہ یہ ہر فوٹوریزسٹ پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ اگر درجہ حرارت میں 1°C کی تبدیلی ہو جائے، تو کرِٹیکل ڈائمینشن کنٹرول متاثر ہو جاتا ہے، اور پروسیس رک جاتا ہے۔ ہم نے اس نیکون اسٹیپر لیمپ کا متبادل تیار کیا ہے، تاکہ درجہ حرارت کو مستقل رکھا جاسکے۔
اس لیمپ کے اندر استعمال ہونے والا عنصر، اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز سے بنا ہے، اور اس کا مقصد تیز رفتاری سے درجہ حرارت کو کنٹرول کرنا ہے۔ یہ لیمپ نیکون اسٹیپر لیمپوں کے ساتھ بالکل مناسب طریقے سے کام کرتا ہے؛ اس لئے اس کی تبدیلی بھی آسان ہے۔ بیک پلیٹ پر، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور 5,000 گھنٹوں کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ کی درستگی 2% کے اندر رہتی ہے۔ ہم نے فلامنٹ کی ساخت اور ریفلیکٹر کے راستے کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ ریزسٹ کی سطح پر یکساں درجہ حرارت برقرار رہے، کوئی گرم جگہ نہ رہے، اور کوئی تغییر نہ ہو۔
لیتھوگرافی پروسیسنگ میں یہ بہت اہم ہے۔ باقاعدگی سے پروسیسنگ سے حل کی مقدار کم ہو جاتی ہے، جس سے گندگی کم ہو جاتی ہے۔ باقاعدگی سے پروسیسنگ سے چپس کی چپکنے کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ کلاس 1-100 کے کلین رومز میں، اس لیمپ کو ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ یہ صاف ستھرے ماحول میں کام کرے، اور اس کے استعمال سے آپٹیکل آلات یا ویفرس خراب نہ ہوں۔ اس لیمپ کی طویل عمر کی وجہ سے، اس کی تبدیلی کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پروسیسنگ میں کوئی رکاوٹ نہیں آتی۔
چند عملی نکات: لیمپ کو اسٹیپر ماڈل اور پاور سپلائی کے مطابق ہی استعمال کریں۔ غلط وولٹیج یا کنکٹر کی سمت سے درجہ حرارت میں تبدیلی ہو سکتی ہے، جس سے پروسیسنگ متاثر ہو سکتی ہے۔ انسٹالیشن کے بعد، درجہ حرارت کو مستحکم ہونے دیں، اور پہلے دس پروسیسنگ سیشنوں کے نتائج کو نوٹ کریں تاکہ یکسانیت اور درستگی کی تصدیق کی جا سکے۔
لیمپوں کی تبدیلی کو منصوبہ بند طریقے سے کریں، نہ کہ خرابی کی صورت میں۔ لیمپوں کو ان کی مخصوص زندگی کی مدت سے زیادہ استعمال کرنے سے درجہ حرارت میں تغییر ہو سکتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ میں خرابیاں پیدا ہو سکتی ہیں۔