فیبرک فلور پر، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 0.5°C کی تبدیلی سے آپ کے پروڈکٹ کی اہم خصوصیات میں نینومیٹر کی سطح پر تبدیلی واقع ہو جاتی ہے، اور اسی وجہ سے بہت سا مال ضائع ہو جاتا ہے۔ ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت اور فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو برقرار رکھنا صرف نظریہ نہیں، بلکہ یہی وہ عوامل ہیں جن کا استعمال ہر شفٹ میں پروڈکشن کو بہتر بنانے کے لئے کیا جاتا ہے۔ کوارٹز ہیلوجن انفراریڈ ایمیٹرز، اہم مقامات پر مستحکم اور صاف حرارت فراہم کرتے ہیں؛ چاہے وہ نرم بیکنگ ہو، سخت بیکنگ ہو، یا پری-ایکسپوژر کنڈیشننگ ہو… جہاں حرارتی بجٹ بہت کم ہوتا ہے، اور پروسیس کے دوران کوئی غلطی برداشت نہیں کی جاسکتی۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
کوارٹز ہیلوجن لیمپ، مختصر لہروں والا انفراریڈ روشنی فراہم کرتے ہیں، جس سے درجہ حرارت کو تیزی سے کنٹرول کیا جاسکتا ہے، بغیر کسی غلطی کے۔ ہم 300 ملی میٹر والے ویفر پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھنے کی کوشش کرتے ہیں، تاکہ فوٹوریزسٹ کو سطح پر یکساں توانائی مل سکے۔ کلین روم کے ماحول کے لئے بھی خصوصی تدابیر کی گئی ہیں؛ کلاس 1–100 کے ماحول میں کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور اس کی تصدیق ان-سیٹو ذرات کی گنتی سے کی جاتی ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے، اور اس کی کمی 5% سے بھی کم ہوتی ہے؛ اس سے 24/7 کام کرنا ممکن ہو جاتا ہے، اور دیکھ بھال بھی آسان ہو جاتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں حرارت کو پروسیس کے مطابق ہونا ضروری ہے، نہ کہ الٹا۔ یہ ایمیٹرز، پروسیس کے حرارتی پروفائل کے ساتھ ہم آہنگ ہوتے ہیں، جس سے لائنوں کی چوڑائی میں تغیر کم ہوتا ہے، اور پروڈکٹ کی کوالٹی بہتر ہوتی ہے۔ اس سے سولوونٹ کے بخارات کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے، اور ویفر کو دوبارہ پروسیس کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔ کارکردگی بہتر ہوتی ہے، کیوں کہ انفراریڈ روشنی کا کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور حرارتی بوجھ کم ہوتا ہے؛ اس سے غیرمتوقع وقفے کم ہوتے ہیں، آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے، کولنگ بھی صاف رہتی ہے، اور مانیٹرنگ کے لئے پہلے سے موجود آلات استعمال کئے جاسکتے ہیں۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے، ضائع ہونے والا مال کم ہوتا ہے، اور OEE بھی مستحکم رہتا ہے۔
انسٹالیشن کے دوران کیا ضروری ہے؟
انسٹالیشن کے دوران مناسب ریفلیکٹرز اور موثر کولنگ سسٹم ضروری ہے۔ ایر-کولڈ فکسچرز میں ہوا کا بہاؤ برقرار رکھنا ضروری ہے؛ اگر بہاؤ کم ہو جائے، تو کوارٹز گرم ہو جاتا ہے، اور اسپیکٹرم میں تبدیلی واقع ہو جاتی ہے۔ سسٹم کو تھرمل کنٹرولر اور SPC لاگنگ سسٹم سے جوڑنا ضروری ہے، تاکہ سیٹنگز برقرار رہیں، اور تبدیلیوں کو جلد پتہ لیا جاسکے۔ استعمال شروع کرنے سے پہلے تھوڑا وقت درکار ہے، تاکہ سسٹم مستحکم ہو جائے؛ اس لئے بیکنگ کا وقت مناسب طریقے سے طے کرنا ضروری ہے۔ جب سسٹم پروسیس کے مطابق کام کرنے لگتا ہے، تو یہ اعلیٰ درجہ کی درستگی کے ساتھ کام کرتا ہے۔