Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, người ta sẽ nhanh chóng nhận ra rằng chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ dù chỉ là nửa độ C thôi cũng đã khiến cho các thông số kỹ thuật liên quan đến CD bị sai lệch. Nếu việc gia nhiệt diễn ra quá mức ở các vùng rìa, thì sẽ xuất hiện các vết bẩn trên bề mặt wafer, điều này sẽ làm hỏng kết quả kiểm tra. Việc gia nhiệt wafer không phải là một bước ít quan trọng; nó quyết định mức nhiệt cần thiết cho từng lớp được in trên wafer. Khi độ đồng đều của nhiệt độ bị suy giảm, wafer sẽ không thể được sử dụng – người ta sẽ phải dành thời gian để khắc phục những sai sót đó.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng ta sử dụng các nguồn ánh sáng hồng ngoại có bước sóng ngắn và trung bình để gia nhiệt wafer, kết hợp với các linh kiện quartz-halogen để đảm bảo độ ổn định và tốc độ phản ứng nhanh. Yêu cầu quan trọng nhất là độ đồng đều của nhiệt độ: ±0.1°C trên toàn bề mặt wafer trong quá trình gia nhiệt. Độ sạch của môi trường cũng rất quan trọng; do đó, hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường loại 1–100, với mức độ tạo ra hạt bụi bằng không và mức khí thải thấp. Hệ thống hoạt động 24/7, với việc giám sát tình trạng của các bóng đèn, kiểm soát năng lượng một cách chặt chẽ, và bù đắp cho sự thay đổi nhiệt độ. Như vậy, nhiệt độ mong muốn sẽ được duy trì ổn định, chứ không phải chỉ là niềm hy vọng.
Lợi ích của việc này là việc gia nhiệt có thể được thực hiện một cách ổn định, và hệ thống sẽ duy trì mức nhiệt đó qua từng chu kỳ gia nhiệt. Điều này giúp giảm độ biến thiên của CD, giảm chi phí sửa chữa, và nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì các bóng đèn chỉ được sưởi ấm khi cần thiết, và mức độ bảo trì cũng thấp hơn. Trong các nhà máy sản xuất với công suất lớn, việc kiểm soát nhiệt độ ổn định giúp giảm thời gian dừng máy và giảm chi phí sản xuất trên mỗi wafer.
Một số yếu tố cần được xem xét khi lập kế hoạch: hệ thống cần có nguồn điện ổn định và hệ thống quản lý nhiệt tốt tại vị trí các bóng đèn; sự thay đổi điện áp sẽ dẫn đến sự biến động nhiệt độ. Độ chính xác trong việc lắp đặt cũng rất quan trọng, vì việc căn chỉnh ảnh hưởng trực tiếp đến mức độ chiếu sáng và từ đó ảnh hưởng đến độ đồng đều của nhiệt độ. Hãy lập kế hoạch ngay từ đầu – việc cải tạo sau này có thể được thực hiện một cách nhanh chóng, nhưng cần phải chú ý đến dòng khí và các yếu tố bảo vệ để đảm bảo môi trường sạch sẽ.