洁净室工作台红外灯

在晶圆车间，你知道软烘焙温度哪怕漂移0.2℃，都会影响关键尺寸，硬烘焙边缘温度过高则会留下污膜和残留物。我们设计了洁净室工作台红外灯，以消除这些变量的影响。 核心特性 该灯采用近红外（NIR）石英发射器，升温快速且具方向性，热滞后极小。照射区域内，晶圆级温度均匀性保持在±0.1℃，闭环控制系统可在...