晶圆加工设备用温度传感器

为何选择红外固化技术来处理半导体晶圆 在干燥和固化半导体晶圆的过程中，红外技术无疑是最佳选择。它让我们可以摒弃那些复杂的溶剂，以及那些需要很长时间才能加热的庞大、耗能极高的对流式烤箱。 其原理在于：红外光能够精确地作用于粘合剂或光阻材料中的特定分子振动，从而在需要的位置实现固化，而不会让整个设备变...