用于光刻机的石英玻璃防护罩

停止热量浪费：为何石英防护罩对半导体制造设备至关重要 在运营半导体制造工厂时，最不想看到的情况就是加热灯污染晶圆。那简直是一场噩梦。因此，我们才使用高纯度的石英玻璃作为防护罩。 可以把它们看作是加热灯的“保镖”——它们位于加热元件与加工环境之间，从而确保一切保持清洁且彼此分离。 为什么选择石英？为...