ওয়েফারগুলো দূষিত হওয়ার আগেই তা থামানো উচিত: আইআর ল্যাম্প ব্যবহারের জন্য একটি ভালো উপায়
উচ্চ-পরিমাণে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের ক্ষেত্রে, ল্যাম্প নষ্ট হয়ে যাওয়া কেবলমাত্র একটি সমস্যা নয়; এটা একটি ভয়াবহ পরিস্থিতি।
কল্পনা করুন, আপনার ওয়েফারগুলোর ঠিক উপরেই কোয়ার্টজ টিউবটি নষ্ট হয়ে যায়। এর ফলে শুধুমাত্র ল্যাম্পটি নষ্ট হয় না; বরং কাঁচের টুকরো ও রাসায়নিক পদার্থগুলো ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দেয়। এটা খুবই জটিল পরিস্থিতি। এই ঝুঁকি দূর করার জন্যই আমরা অজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি।
অজোন সমস্যা
সাধারণ শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ১৮৫ ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যে বিকিরণ নির্গত করে। এটা শুনতে প্রযুক্তিগত মনে হলেও, আসলে এর অর্থ হলো এগুলো চারপাশের বাতাসকে অজোনে রূপান্তরিত করে।
ক্লিনরুমে অজোন হলো একটি ক্ষয়কারী গ্যাস। এটা ওয়েফারের অর্গানিক স্তরগুলোকে ধ্বংস করে দেয়। এটা এড়াতে আমরা বিশেষ ধরনের ডোপান্ট ও কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করি; এগুলো ঐ বিকিরণগুলোকে ফিল্টার করে দেয়। এভাবে আপনি দ্রুত উত্পাদন করতে পারেন, কিন্তু কোনো রাসায়নিক প্রভাব থাকে না।
কিছু ঝুঁকি এড়ানো
থার্মাল শকই এখানকার আসল সমস্যা। যখন ল্যাম্পগুলো দ্রুত চালু-বন্ধ হয়, তখন কোয়ার্টজ টিউবগুলো প্রসারিত/সংকুচিত হয়; ফলে টিউবগুলো নষ্ট হয়ে যায়।
আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; এতে টিউবগুলো আরও মজবুত হয়। কিন্তু আমরা এখানেই থেমিনি। আমরা সুরক্ষামূলক আবরণ ও বিশেষ কোটিং ব্যবহার করি; এগুলো টিউবগুলোকে সুরক্ষা দেয়। যদি অভ্যন্তরীণ অংশগুলো নষ্ট হয়ে যায়, তবুও বাইরের আবরণগুলো ধ্বংসাবশেষগুলোকে আটকে রাখে। ফলে আপনার সিলিকনগুলো পরিষ্কার থাকে।
কিছু ত্যাগ
সত্যি বলতে, এখানে কিছু ত্যাগ করতে হয়। অজোন-মুক্ত কোটিংগুলো ইনফ্রারেড আলোর কিছু অংশকে আটকে দেয়। ফলে তাপমাত্রা ৫-১০% কমে যেতে পারে। এটা খুব বড় সমস্যা নয়; কিন্তু এর জন্য আপনাকে হয়তো ল্যাম্পের শক্তি বাড়াতে হবে, অথবা ওয়েফারগুলোকে আরও বেশি সময় ধরে রাখতে হবে।
আরেকটি টিপ: আপনার কুলিং সিস্টেমটি ভালোভাবে পরীক্ষা করুন। এই ল্যাম্পগুলো তাপকে কেন্দ্রবিন্দুতে জমা করে। যদি আপনার এয়ারফ্লো ঠিক না থাকে, তবে ল্যাম্পের ইলেকট্রোডগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।