Udržování waferů v teple: Pravda o topnících zařízeních na infračervené záření
Pokud provozujete inteligentní výrobní prostředí, určitě znáte problémy spojené s přesunem waferů a substrátů. Stačí jeden nesprávný pokles teploty během přepravy a máte problém. Proto používáme k topení vozíků zařízení na infračervené záření.
Nejlepší na tom je to, že infračervené záření využívá teplo vyzařované z světla. Není potřeba pohybovat vzduchem, což je v čistých prostorách velká výhoda. Bez pohybu vzduchu nevznikají žádné nežádoucí částice. Jednoduché.
Správné měření údajů
V dnešní době platí pravidlo: pokud se něco nezaznamená, nestalo se to. Ujišťujeme se, že naše infračervená zařízení fungují v součinnosti s vaším stávajícím systémem. Pomocí PID řídicích prvků můžete vidět v reálném čase, jaké jsou teplotní hodnoty. Je to v podstatě digitální „odraz“ vašeho tepelného procesu. Máte tak jasný přehled o tom, kolik tepla dostal každý výrobek. Žádné odhady.
Rychlost a výkon
Tyto zařízení jsou navržena pro rychlost. Lampy na infračervené záření dosahují požadované teploty během několika sekund. Nemusíte se potýkat s opožděním, které vzniká u starších rezistentních topných prvků.
Aby vozíky zůstaly kompaktní, používáme lampy s vysokou hustotou výkonu. Ale musíte si dát pozor – tyto lampy spotřebovávají hodně elektrické energie. Pokud chcete maximální rychlost provozu, ujistěte se, že vaše kabely a napájecí trasy dokážou zvládnout maximální zátěž. Nechcete přece pokles napětí právě ve chvíli, kdy potřebujete nejvíce tepla.
Kompromisy v čistých prostorách
Aby věci zůstaly čisté, používáme kvartové obaly. Ty neuvolňují žádné plyny a neuvolňují žádné částice.
Ale existuje jeden problém – kvart je křehký. Je skvělý pro precizní práci, ale nemůže odolat nárazům. Musíte tedy do konstrukce vozíku přidat pevné ochranné prvky, aby byly trubice chráněny během pohybu. Rozbitá trubice představuje katastrofu pro čistotu vašeho prostoru. Pro usnadnění práce doporučujeme modulární design – tak můžete v případě poruchy rychle vyměnit lampu a pokračovat v práci bez dlouhých přestávek.