http://patio-ir-comfort.com/cs/tags/stript%C3%BDz/ Recent content in Striptýz on Patio Infrared Heating Comfort Hugo cs Sun, 31 May 2026 23:48:35 +0800 http://patio-ir-comfort.com/cs/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:35 +0800 http://patio-ir-comfort.com/cs/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Topný podpůrný prvek pro odstraňování fotorezistu"></p> <p>Na lithografické hale není odstraňování fotoresistu pasivní zastávkou – jde o tepelný proces, který musí odpracovat svou funkci čistě. Fotoresist musí být zcela odstraněn, bez zbytků, bez opětovného usazování a bez namáhání vrstvy waferu. Když podpůrný ohřívač nesplní požadavek, linka to okamžitě pocítí. Vznikají vady. Počet částic roste. A výtěžnost vykazuje každý stupeň odchylky.<br> Navrhli jsme podpůrný ohřívač pro odstraňování fotoresistu tak, aby zvládl tento moment s opakovatelnou kontrolou teploty a materiály vhodnými do čistého prostředí. V polovodičové výrobě je termální chování procesním chováním – nelze je oddělit.</p>