http://patio-ir-comfort.com/cs/tags/uv/ Recent content in UV on Patio Infrared Heating Comfort Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/cs/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800 http://patio-ir-comfort.com/cs/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Pecní lampa pro pečení hlubokého UV (DUV) rezistu"></p> <p>Na lithografické podlaze není odchylka 0,2 °C v teplotě pečení rezistu „malá odchylka“. Znamená to ztrátu výtěžnosti. Soft bake nastavuje profil rozpouštědla. Hard bake upevňuje obraz. Oba procesy vyžadují opakovatelný přísun tepla, wafer po waferu. Když profil pečení kolísá, klesá kontrola kritických rozměrů, zbytky nečistot přetrvávají a po vývoji se objevují zbytky oplachu.</p> <p>Naše DUV lampa pro pečení rezistu spoléhá na blízké infračervené záření k vytvoření stabilního tepelného pole s uniformitou na úrovni submilimetrů. Získáte kontrolu teploty na úrovni waferu, která zůstává v rámci přísných tepelných limitů, takže každý soft bake i hard bake probíhá stejně jako ten předchozí. Infračervená energie se přímo absorbuje rezistem, což minimalizuje zpoždění a překmit. Opakovatelnost není jen fráze – projevuje se nastavením po nastavení, cyklem po cyklu.</p>