Die Wafer warm halten: Die Wahrheit über IR-Heizgeräte
Wenn Sie eine Smart Fab betreiben, kennen Sie sicherlich die Herausforderungen bei der Bewegung von Wafern und Substraten. Schon eine leichte Temperaturabfall während des Transports kann zu Problemen führen. Deshalb nutzen wir für unsere Heizgeräte Kurzwellen-Infrarot-Strahlung.
Das Beste daran ist: Infrarot nutzt Strahlungswärme. Es muss keine Luft bewegt werden, was in einem Reinraum von großer Bedeutung ist. Keine Luftbewegung bedeutet auch, dass keine Staubpartikel an Orten auftauchen können, an denen sie nicht sein sollten. Einfach.
Genaue Daten erfassen
Heutzutage gilt: Wenn etwas nicht erfasst wird, dann ist es auch nicht passiert. Wir sorgen dafür, dass unsere IR-Systeme mit Ihrer vorhandenen Infrastruktur kommunizieren können. Durch die Verbindung von PID-Reglern mit Ihrem PLC können Sie genau sehen, was mit den Temperaturgradienten vor sich geht – in Echtzeit.
Es ist im Grunde wie ein digitales Spiegelbild Ihres thermischen Prozesses. Sie erhalten eine klare Übersicht darüber, wie viel Wärme jede Charge erhält. Kein Raten mehr nötig.
Geschwindigkeit und Leistung
Wir haben diese Heizgeräte für maximale Geschwindigkeit entwickelt. Kurzwellen-Infrarot-Lampen erreichen die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle. Sie müssen sich nicht mit den Verzögerungen herumschlagen, die bei herkömmlichen Widerstandsheizungen auftreten.
Um zu verhindern, dass die Heizgeräte zu groß werden, verwenden wir Lampen mit hoher Leistungsdichte. Doch Achtung: Solche Lampen verbrauchen viel Strom. Wenn Sie extrem schnelles Aufheizen benötigen, stellen Sie sicher, dass Ihre Kabel und Stromleitungen die maximale Belastung aushalten können. Sie möchten schließlich keinen Spannungsabfall gerade dann, wenn Sie die Wärme am meisten benötigen.
Der Kompromiss im Reinraum
Um alles sauber zu halten, verwenden wir Quarzkapseln. Sie geben keine Gase ab und fallen auch keine Partikel ab.
Aber es gibt einen Haken: Quarz ist zerbrechlich. Er eignet sich zwar hervorragend für präzise Anwendungen, doch er kann keinen Stoß überstehen.
Sie sollten daher stabile Schutzvorrichtungen in den Rahmen der Heizgeräte einbauen, um die Lampen während der Bewegung zu schützen. Eine beschädigte Lampe kann für die Integrität des Vakuums oder des Reinraums katastrophal sein. Um das Leben zu erleichtern, empfehlen wir ein modulares Design. So können Sie eine beschädigte Lampe schnell austauschen und weiterarbeiten, ohne lange Stillstände in Kauf nehmen zu müssen.