Vermeiden Sie die Kontamination der Wafer bereits im Vorfeld: Eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotlampen
In einer Produktionsumgebung mit hohem Ausstoß an Halbleiterprodukten ist ein Defekt einer Lampe mehr als nur ein Ärgernis oder ein kurzer Stillstand – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Stellen Sie sich vor, eine Quarzröhre gerät direkt über den Wafern aus. Dann haben Sie es nicht nur mit einer kaputten Glühbirne zu tun, sondern auch mit Glassplittern und chemischen Rückständen, die eine ganze Charge kaputt machen können. Das ist wirklich chaotisch. Deshalb haben wir ozeongefreie Infrarotlampen entwickelt, um dieses Risiko bereits im Vorfeld zu vermeiden.
Das Problem mit Ozon
Standardmäßige Kurzwellen-Infrarotlampen strahlen im Bereich von 185 Nanometern ab. Das klingt technisch, bedeutet aber im Grunde, dass diese Lampen die Luft um sie herum in Ozon umwandeln. In einer Reinraumumgebung ist Ozon ein korrosives Gas, das die organischen Schichten auf den Wafern zerstört. Um dies zu verhindern, verwenden wir spezielle Dopantien sowie Quarzröhren, die diese UV-Strahlen filtern. So erhalten Sie weiterhin genügend Wärme für eine schnelle Trocknung – ohne die negativen chemischen Nebeneffekte.
Vermeidung von Beschädigungen
Der eigentliche Feind sind hier die thermischen Belastungen. Wenn die Lampen schnell ein- und ausgeschaltet werden, dehnt sich der Quarz aus und zieht sich wieder zusammen – bis er schließlich zerbricht. Wir verwenden hochreinen verschmolzenen Quarz, um den Schmelzpunkt des Quarzes zu erhöhen und somit die Röhren widerstandsfähiger zu machen. Doch damit haben wir es nicht belassen. Wir haben außerdem Schutzschichten sowie spezielle Beschichtungen hinzugefügt, die wie ein Sicherheitsnetz wirken. Falls der innere Filament oder die Röhre beschädigt wird, fangen die äußeren Schichten die Bruchstücke auf. Dadurch bleiben die Siliziumwafer sauber.
Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Ehrlich gesagt gibt es hier einige Kompromisse. Die ozeongefreien Beschichtungen blockieren einen kleinen Teil des Infrarotlichts. Dadurch kann es zu einem Rückgang der Wärmemenge um 5–10 Prozent kommen. Das ist zwar kein Problem, doch Sie müssen wahrscheinlich die Leistung der Lampen erhöhen oder die Wafer etwas länger dort belassen, um das auszugleichen.
Noch ein Tipp: Schauen Sie sich Ihren Kühlkörper an. Solche Lampen neigen dazu, die Wärme an den Enden zu konzentrieren. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig eingestellt ist, werden die Elektroden deutlich schneller abgenutzt.