Lithografie Weichbrennheizelement

Wed, 01 Jul 2026 06:41:35 +0800

In der Lithografie-Branche ist eine angemessene Heiztemperatur keine Frage des persönlichen Geschmacks – es handelt sich dabei vielmehr um eine notwendige Voraussetzung. Es muss eine zuverlässige Entfernung der Lösungsmittel stattfinden, und zwar an allen Stellen des Wafern-Oberflächenbereichs. Selbst geringfügige Abweichungen in der Temperatur oder Hotspots können dazu führen, dass die Kontrolle über die CD-Qualität beeinträchtigt wird. Wir haben den Heizelement so konstruiert, dass es innerhalb dieser Grenzen bleibt – Tag für Tag.

Was technisch wichtig ist: Das Heizelement arbeitet im Bereich des kurzwelligen Infrarots (NIR), genauer gesagt mit Quarz-Halogen-Technologie. Dadurch wird eine schnelle thermische Reaktion ermöglicht sowie eine präzise Temperaturregelung. Die Zieltemperatur bleibt auf einer Genauigkeit von ±0,1°C über die gesamte Wafer-Oberfläche konstant. Zudem sind die Materialien gemäß den Anforderungen der Reinraumklassen 1–100 geeignet. Während des Betriebs entstehen keine Teilchen, und die Oberflächenbeschaffenheit sorgt dafür, dass Defekte minimiert werden.

Tief UV (DUV) Resistbacklampe

Mon, 01 Jun 2026 17:44:52 +0800

Auf dem Lithografieboden ist eine Drift von 0,2 °C bei der Resist-Backtemperatur keine „kleine Abweichung“. Es bedeutet Produktionsausfall. Der Softbake legt das Lösungsmittelprofil fest. Der Hardbake fixiert das Bild. Beide benötigen eine Wärmezufuhr, die wiederholbar ist – Wafer für Wafer. Schwankt das Backprofil, leidet die CD-Kontrolle, Rückstände bleiben haften und Spülrückstände zeigen sich nach der Entwicklung.

Unsere DUV-Resist-Backlampe nutzt Nahinfrarot-Heizung, um ein stabiles thermisches Feld mit submillimeter-genauer Gleichmäßigkeit zu erzeugen. Sie erhalten eine Wafer-Temperaturkontrolle, die innerhalb enger thermischer Budgets bleibt, so dass jeder Softbake und Hardbake genauso abläuft wie der vorherige Durchlauf. Die Infrarotenergie koppelt direkt in den Resist ein, was Verzögerungen und Überschwingungen reduziert. Reproduzierbarkeit ist kein Werbeslogan – sie zeigt sich in Sollwerten nach Sollwerten, Zyklus für Zyklus.

Backen on Patio Infrared Heating Comfort

Lithografie Weichbrennheizelement

Tief UV (DUV) Resistbacklampe