http://patio-ir-comfort.com/de/tags/entkleiden/ Recent content in Entkleiden on Patio Infrared Heating Comfort Hugo de Sun, 31 May 2026 23:48:33 +0800 http://patio-ir-comfort.com/de/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:33 +0800 http://patio-ir-comfort.com/de/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Heizgerät zur Unterstützung des Photoresist Entfernens"></p> <p>Auf der Lithografie-Ebene ist das Abstreifen kein passiver Zwischenstopp – es ist ein thermischer Prozess, der seine Aufgabe sauber erfüllen muss. Der Photoresist muss vollständig abgelöst werden, ohne Rückstände, ohne Wiedereinlagerung und ohne das Wafer-Stack zu belasten. Wenn die Heizunterstützung nicht exakt arbeitet, spürt die Linie das sofort. Fehler schleichen sich ein. Die Partikelzahlen steigen. Und das Yield-Blatt zeigt jede einzelne Abweichung.</p> <p>Wir haben den Photoresist-Abstreif-Heizsupport entwickelt, um diesen Moment mit reproduzierbarer Temperaturkontrolle und reinraumgeeigneten Materialien zu meistern. In der Halbleiterfertigung ist thermisches Verhalten Prozessverhalten – eine Trennung gibt es nicht.</p>