http://patio-ir-comfort.com/de/tags/feuchtigkeit/ Recent content in Feuchtigkeit on Patio Infrared Heating Comfort Hugo de Sat, 20 Jun 2026 01:58:24 +0800 http://patio-ir-comfort.com/de/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 01:58:24 +0800 http://patio-ir-comfort.com/de/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Heizlampe zur Entfeuchtung von Wafern"></p> <p>In der 300-mm-Linie ist die nach der Reinigung zurückgebliebene Feuchtigkeit ein Problem, das erst dann erkennbar wird, wenn es bereits zu spät ist. Die Feuchtigkeit dringt in die Schicht aus Fotolack ein, stört damit das thermische Gleichgewicht und führt nach der Belichtung zu Unregelmäßigkeiten auf der Waferoberfläche. Die Heizlampe zum Entfernen der Feuchtigkeit an den Wafers dient dazu, dieses Problem bereits in seiner Entstehung zu bekämpfen.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Halogenquarzlampen mit schnelle Reaktionszeiten – dadurch wird die Wärme genau dort abgegeben, wo sie benötigt wird – schnell und gezielt. Die Genauigkeit beträgt ±0,1°C über die gesamte Behandlungszone hinweg. Genau deshalb werden die Profile für die Weich- und Hartbehandlung immer wieder verwendet.</p>