Elemento calefactor de repuesto Aixtron

Wed, 10 Jun 2026 01:42:23 +0800

En la planta de producción, la herramienta Aixtron MOCVD no tolera deriva térmica. Si el elemento calefactor comienza a funcionar por debajo de lo esperado, se detecta de inmediato: la uniformidad de temperatura del wafer se deteriora, la repetibilidad entre ciclos se desvía y el presupuesto térmico para la pila epitaxial deja de comportarse. Las consecuencias son lotes descartados y paradas no planificadas que reducen la capacidad disponible, lo cual no se puede permitir.

Qué es lo que importa técnicamente
Fabricamos el repuesto del elemento calefactor Aixtron para que coincida con el comportamiento térmico que espera la cámara del reactor: estable, con respuesta rápida y un control estricto de la temperatura en todo el plano del wafer. Es un diseño de alta pureza y baja emisión de gases que mantiene la compatibilidad con sala limpia, controlando la generación de partículas durante los ciclos térmicos. Las especificaciones se mantienen dentro del rango de potencia y voltaje de la herramienta, y la geometría y la interfaz de terminales coinciden con el equipo original para que el reemplazo sea directo, sin necesidad de retrabajo ni reconfiguración del control.

Aixtron on Patio Infrared Heating Comfort

Elemento calefactor de repuesto Aixtron