http://patio-ir-comfort.com/es/tags/apoyo/ Recent content in Apoyo on Patio Infrared Heating Comfort Hugo es Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/es/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/es/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Soporte técnico para el calentamiento de obleas"></p> <p>En el área de litografía, uno aprende rápidamente que incluso un desvío de medio grado en la temperatura durante el proceso de calentamiento puede hacer que las especificaciones del CD no se cumplan. Y si el calentamiento es excesivo en los bordes del disco, se producirán manchas que impiden una inspección correcta. El calentamiento de los discos no es un paso secundario; determina el presupuesto térmico para cada capa que se va a grabar. Cuando la uniformidad se ve afectada, no se pueden enviar los discos a su destino final; hay que dedicar todo el tiempo a corregir esos errores.</p> http://patio-ir-comfort.com/es/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:33 +0800 http://patio-ir-comfort.com/es/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Calentador de soporte para eliminación de fotoresiste"></p> <p>En la sala de litografía, el stripping no es una parada pasiva, sino un proceso térmico que debe cumplir su función de manera limpia. Se requiere que el fotoresiste se desprenda completamente, sin residuos, sin redeposición y sin estresar la pila de obleas. Cuando el calentador de soporte no alcanza el punto deseado, la línea lo nota de inmediato. Aparecen defectos. Los conteos de partículas aumentan. Y la hoja de rendimiento refleja cada grado de desviación.</p>