Lámpara infrarroja para banco de sala limpia

Sat, 06 Jun 2026 01:07:15 +0800

En la planta de obleas, se sabe que una cocción blanda que varíe incluso 0,2°C puede alterar las dimensiones críticas, y una cocción dura que se caliente excesivamente en el borde puede dejar residuos y suciedad. Diseñamos la lámpara de infrarrojos para banco en sala limpia para eliminar esa variabilidad de la ecuación.
Lo que importa bajo el capó
Funciona con emisores de cuarzo de infrarrojo cercano (NIR), calentando rápido y de forma dirigida con un retraso térmico mínimo. En toda la zona iluminada, mantenemos la uniformidad a nivel de oblea en ±0,1°C, y el control en lazo cerrado alcanza el punto de ajuste en segundos. La carcasa es compatible con sala blanca Clase 1–100, con juntas selladas, materiales de baja emisión de gases y una trayectoria interna de flujo de aire que mantiene la generación de partículas en cifras de un solo dígito por pie cúbico. La salida se mantiene estable más de 5.000 horas, y la repetibilidad de ejecución a ejecución se conserva.
En litografía, se necesita una cocción blanda consistente para extraer los disolventes limpiamente, y una cocción dura que fije el fotoresistente sin sorpresas. Esta lámpara proporciona ambos procesos, con un control estricto del presupuesto térmico. El resultado es una mejor uniformidad de CD y una capa fina de borde menor.
Además, la respuesta rápida reduce el tiempo de cocción, lo que disminuye el consumo energético y aumenta el rendimiento. También se gana margen en el proceso, especialmente en resist delgado y pilas multicapa. Menos lotes descartados. Menos retrabajo.
Algunas notas prácticas. La lámpara requiere una alimentación de corriente dedicada y filtrada, y debe montarse con suficiente espacio para evitar sombras o sobrecalentamientos localizados. Las temperaturas superficiales pueden superar ampliamente límites seguros para su manipulación durante la operación, por lo que se deben planificar dispositivos de protección e interbloqueos. Para mejores resultados, ajuste el espectro del emisor al stack de resist y calibra la temperatura en el plano de la oblea, no en la carcasa.

Banco on Patio Infrared Heating Comfort

Lámpara infrarroja para banco de sala limpia