جلوگیری از آلودگی ویفرها: چرا ما لامپهای دو لولهای با پوشش طلا ساختیم؟
در کارخانههای تولید نیمههادی با تولیدات حجیم، خراب شدن لامپ میتواند فاجعهبار باشد. مسئله فقط مربوط به توقف فعالیت کارخانه نیست؛ زمانی که لوله کوارتزی خراب میشود، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی به سمت ویفرها پرتاب میشوند. یک بار خرابی کافی است تا آلودگی در ویفرها ایجاد شود.
دقیقاً به همین دلیل بود که ما این لامپهای دو لولهای با پوشش طلا را ساختیم؛ ما میخواستیم این خطر را کاملاً از بین ببریم.
راز این لامپها در ساختار دو لولهای آنهاست.
به جای اینکه یک لوله تمام گرما را تحمل کند، ما دو لایه کوارتزی را در کنار هم قرار دادیم؛ این کار باعث پخش گرما میشود. با تقسیم کار فیلامنت بین دو لایه، دیواره بیرونی لامپ تحت فشار گرمایی قرار نمیگیرد.
این کار باعث میشود که کوارتز در شرایط دمای بالا نرم نشود؛ در نتیجه، گرمای یکنواختی بر روی ویفرها ایجاد میشود. هیچ نقطهی داغی وجود ندارد؛ فقط گرمای یکنواخت.
و همچنین، پوشش طلا…
خیر، این پوشش برای زیبایی نیست؛ پوشش طلا به عنوان آینهای برای بازتاب گرمای مادون قرمز عمل میکند؛ انرژی گرما به سمت محلی که نیاز به آن است، بازتاب میشود، در حالی که اجازه نمیدهد گرما به بدنه لامپ و سیمهای آن آسیب برسد.
از آنجایی که گرما از خود لامپ بازتاب میشود، لوله لامپ سردتر از لامپهای معمولی با همان توان باقی میماند.
حفظ تمیزی ویفرها…
برای جلوگیری از رسیدن ذرات به ویفرها، ما روی مهر و مومهای مورد استفاده تأکید زیادی کردیم؛ از کوارتز با خلوص بالا و درپوشهایی استفاده کردیم که در شرایط دمای بالا ترک نخورند. و اگر یکی از لولهها خراب شود، ساختار دو لولهای به عنوان یک سیستم ایمنی عمل کرده و فشار داخلی را کنترل میکند.
یک نکته مهم: حتماً کنترلکنندههای توان لامپها را بررسی کنید؛ این لامپهای دارای مقاومت خاصی هستند. اگر سعی کنید با افزایش ولتاژ، سختافزار قدیمی را تعمیر کنید، در واقع در حال ایجاد آسیب بیشتر هستید.
همچنین، مطمئن شوید که فنهای خنککننده قادر به مقابله با گرمای بازتاب شده در پشت لامپ باشند؛ با این کار، این لامپها میتوانند مدت زمان طولانیی کار کنند.