دیگر نیازی نیست دستگاه خود را گرم کنید؛ بهتر است فقط ویفر را گرم کنید.
وقتی با تابش مادون قرمز در فرآیندهای پردازش ویفر سروکار دارید، این سیستمها عادت ناخوشایندی دارند: آنها تمام چیزها را گرم میکنند، به جز آنچه که واقعاً میخواهید.
اگر تا به حال احساس کردهاید که دیوارههای داخلی دستگاه شما به شدت گرم میشوند، میدانید که این موضوع چقدر آزاردهنده است. این کار نه تنها باعث هدررفت انرژی میشود، بلکه خطراتی نیز برای کسی که دستگاه را کنترل میکند، ایجاد میکند.
ما این مشکل را با استفاده از سیستم گرمایش متمرکز مادون قرمز حل میکنیم.
مشکل لامپهای معمولی این است: اکثر آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی در زوایای ۳۶۰ درجه. در یک فضای محدود، نیمی از این انرژی صرفاً از روی دیوارهها بازتاب میشود. این کار باعث میشود دستگاه گرانقیمت شما به یک فر بزرگ و ناکارآمد تبدیل شود.
ما این مشکل را با استفاده از منعکسکنندههای تخصصی و سنسورهای دقیق حل میکنیم؛ این سنسورها گرما را به درستی هدایت میکنند. در نتیجه، انرژی مستقیماً به سطح ویفر میرسد و بقیه بخشهای دستگاه تحت تأثیر قرار نمیگیرند.
بهترین نکته این است که قطعات دستگاه شما خنک میمانند.
شما میتوانید در حین فرآیندهای گرمایشی، به بدنه خارجی دستگاه دست بزنید، بدون اینکه نگران سوختن دستتان باشید. چون ما چگالی گرما را دقیقاً در جایی که لازم است، متمرکز میکنیم، شما میتوانید به سرعت به دماهای مورد نظر برسید. قطعات دستگاه نیازی به تحمل گرمای زیاد ندارند.
اما باید بدانید که این روش جادویی نیست؛ معایبی نیز دارد.
وقتی که پرتو گرما را متمرکز میکنیم، شدت گرما در مرکز افزایش مییابد. اگر سنسورهای مادون قرمز و کنترلکنندههای PID به درستی تنظیم نشوند، ممکن است نقاط گرم شدیدی ایجاد شود؛ یا حتی ویفر سوخته شود.
همچنین، تنظیم دقیق موقعیت لامپها بسیار مهم است؛ اگر انحرافی در موقعیت لامپها وجود داشته باشد، یکنواختی گرما از بین خواهد رفت. من همیشه به مردم میگویم که قبل از شروع فرآیندهای گرمایشی، موقعیت لامپها را به دقت تنظیم کنید.
در نهایت، استفاده از سیستم گرمایش متمرکز مادون قرمز، امکان دستیابی به دماهای بالاتر را فراهم میکند، بدون نیاز به سیستمهای خنککننده بزرگ و پرحجم. این یک اصل ساده است: انرژی را در جایی بگذارید که واقعاً لازم است.