
Maintenir vos wafer au chaud : la vérité sur les chauffages à rayonnement infrarouge
Si vous gérez une usine intelligente, vous connaissez certainement les difficultés liées au déplacement des wafer et des substrats. Une chute de température pendant le transport peut entraîner de gros problèmes. C’est pourquoi nous utilisons des chauffages à rayonnement infrarouge à ondes courtes pour nos chariots de transport.
Le meilleur aspect de ces chauffages, c’est qu’ils utilisent du chaleur rayonnante. Ils n’ont pas besoin de faire circuler de l’air pour fonctionner, ce qui est très pratique dans une salle propre. Aucun mouvement d’air signifie aussi aucune particule en suspension là où elles ne devraient pas se trouver. Simples, non ?
Obtenir des données précises
De nos jours, si quelque chose n’est pas enregistré, cela signifie que cela ne s’est pas produit. Nous nous assurons que nos systèmes à rayonnement infrarouge fonctionnent en parfaite intégration avec votre équipement existant. En connectant des contrôleurs PID à votre PLC, vous pouvez suivre en temps réel les variations de température. C’est comme avoir un miroir numérique de votre processus thermique. Vous obtenez ainsi des informations précises sur la quantité de chaleur reçue par chaque lot. Pas de suppositions nécessaires.
Vitesse et puissance
Ces chauffages ont été conçus pour être rapides. Les lampes à rayonnement infrarouge atteignent rapidement la température souhaitée. Vous n’avez pas à faire face aux retards causés par les anciens systèmes de chauffage résistif.
Pour éviter que les chariots ne deviennent trop encombrants, nous utilisons des lampes à haute densité de puissance. Mais attention : ces lampes consomment beaucoup d’électricité. Si vous souhaitez des temps de montée en température extrêmement rapides, assurez-vous que vos câbles et vos systèmes électriques peuvent supporter cette charge maximale. Vous ne voulez certainement pas de chute de tension au moment où vous avez le plus besoin de chaleur.
Les compromis dans la salle propre
Pour maintenir un environnement propre, nous utilisons des enveloppes en quartz. Elles ne libèrent pas de gaz et ne libèrent pas de particules. Mais il y a un inconvénient : le quartz est fragile. Il est parfait pour garantir une précision élevée, mais il ne résiste pas bien aux chocs. Il est donc nécessaire de installer des protections robustes autour des tubes afin de les protéger pendant leur déplacement. Un tube endommagé représente un vrai problème pour l’intégrité de la salle propre. Pour faciliter les choses, nous recommandons un design modulaire. Ainsi, en cas de panne, vous pouvez remplacer rapidement la lampe et reprendre le travail sans perdre trop de temps.