Évitez la contamination des wafers avant même qu’elle ne commence : une meilleure manière de gérer les lampes infrarouges
Dans un environnement de production à grande échelle, la panne d’une lampe n’est pas simplement un problème gênant ou une interruption temporaire du travail. C’est un véritable cauchemar.
Imaginez que le tube en quartz qui contient la lampe cède juste au-dessus des wafers. Ce n’est pas seulement une ampoule cassée ; c’est aussi des éclats de verre et des substances chimiques qui endommagent toute une série de wafers. C’est un vrai désastre. C’est pourquoi nous avons conçu des lampes infrarouges sans ozone pour éliminer ce risque avant même qu’il ne se produise.
Le problème de l’ozone
Voici le problème avec les lampes infrarouges à ondes courtes standard : elles émettent des rayonnements dans la gamme des 185 nm. Ça peut sembler technique, mais cela signifie simplement que ces lampes transforment l’air autour d’elles en ozone.
Dans une salle propre, l’ozone est essentiellement un gaz corrosif. Il endommage les couches organiques présentes sur les wafers. Pour résoudre ce problème, nous utilisons des additifs spéciaux et des tubes en quartz qui filtrent ces longueurs d’onde. Vous obtenez ainsi toute la chaleur nécessaire pour un durcissement rapide, mais sans les effets secondaires néfastes causés par les produits chimiques.
Éviter les dommages
Le choc thermique est le vrai problème ici. Lorsque les lampes s’allument et s’éteignent rapidement, le quartz se dilate et se contracte, jusqu’à ce qu’il finisse par se briser.
Nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté pour augmenter le point de软化, rendant ainsi les tubes plus résistants. Mais nous ne nous sommes pas arrêtés là. Nous avons également ajouté des gaines de protection et des revêtements spéciaux qui agissent comme un filet de sécurité. Si le filament intérieur tombe en panne ou si le tube se casse, la gaine extérieure retient les débris. Vos wafers restent donc propres.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Je serai honnête avec vous : il y a un petit compromis à envisager. Ces revêtements sans ozone bloquent une petite partie de la lumière infrarouge. Vous pourriez remarquer une diminution de 5-10 % de la chaleur produite. Ce n’est pas un problème majeur, mais vous devrez probablement augmenter la puissance de la lampe ou laisser les wafers reposer un peu plus longtemps pour compenser.
Un autre conseil : vérifiez bien votre système de refroidissement. Ces lampes ont tendance à concentrer la chaleur aux extrémités. Si le flux d’air n’est pas adapté, vos électrodes s’usent beaucoup plus rapidement que prévu.