Pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants dans le vide
Si vous chauffez des wafer en silicium dans le vide, vous avez probablement remarqué que les règles habituelles ne s’appliquent pas. On ne peut pas compter sur la convection ; il n’y a rien de tel. On doit donc compter entièrement sur la radiation.
Le problème, c’est que si l’on utilise de l’aluminium ou de l’acier inoxydable classiques, on gaspille de l’énergie. Une grande partie de cette énergie n’atteint pas le wafer, mais se disperse dans le châssis de l’appareil. C’est un gaspillage.
L’avantage du revêtement en or
Nous utilisons des revêtements en or parce que l’or est très efficace pour absorber les rayons infrarouges. Il ne se contente pas de refléter la lumière ; il dirige également la chaleur loin du boîtier de la lampe, vers l’endroit où elle est nécessaire. Ainsi, chaque watt dépensé atteint effectivement la surface du wafer. On obtient ainsi une meilleure homogénéité thermique, et le temps nécessaire pour atteindre la température désirée est considérablement réduit.
Gérer la chaleur
Mais il y a un inconvénient : lorsque tant d’énergie est concentrée dans un espace restreint, les températures montent très rapidement. Comme l’or est très efficace pour concentrer l’énergie, les systèmes de refroidissement doivent être parfaitement adaptés. Si ces systèmes ne sont pas suffisamment efficaces, cela peut entraîner des problèmes : des réflecteurs déformés ou des joints endommagés. J’ai vu des cas où la densité thermique était si élevée que les joints standards ne faisaient plus fonctionnement, et il fallait alors utiliser des joints spéciaux résistants aux hautes températures pour éviter toute fuite de vide.
Le compromis
Ces chauffeurs sont conçus pour être intégrés directement dans les outils de semi-conducteurs, sans aucun problème. Mais il faut les traiter avec plus de précaution. La couche d’or est extrêmement fine. S’il vous plaît, ne nettoyez pas ces éléments avec des chiffons abrasifs ; cela endommagerait le revêtement et réduirait considérablement leur efficacité. Utilisez plutôt un chiffon doux et le solvant approprié.
C’est un compromis : on obtient une meilleure homogénéité thermique et des coûts d’énergie plus bas, mais il faut traiter ces équipements avec plus de soin que les chauffeurs industriels ordinaires.