Lampe infrarouge de paillasse en salle blanche

Sat, 06 Jun 2026 01:07:15 +0800

Sur le plancher de wafers, vous savez qu’un soft bake qui dérive ne serait-ce que de 0,2 °C affectera vos dimensions critiques, et qu’un hard bake trop chaud en bordure peut laisser des résidus et des dépôts. Nous avons conçu la lampe infrarouge pour bancs en salle propre afin d’éliminer cette variabilité.

Ce qui compte sous le capot
Elle fonctionne avec des émetteurs quartz proche infrarouge (NIR), chauffant rapidement et de manière directionnelle avec un minimum de retard thermique. Sur la zone éclairée, nous maintenons une uniformité au niveau du wafer de ±0,1 °C, et la régulation en boucle fermée atteint le point de consigne en quelques secondes. Le boîtier est compatible salle propre Classe 1–100, avec des jonctions étanches, des matériaux à faible dégazage et un circuit d’air interne qui limite la génération de particules à moins de dix par pied cube. La puissance reste stable sur plus de 5 000 heures d’utilisation, avec une répétabilité d’un cycle à l’autre.

Banc on Patio Infrared Heating Comfort

Lampe infrarouge de paillasse en salle blanche