מחמם תמיכה להסרת פוטורזיסט

על רצפת הליתוגרפיה, הסרת הפוטורזיסט אינה עצירה פסיבית – זו תהליך תרמי שצריך לבצע את תפקידו בניקיון מוחלט. יש צורך שהפוטורזיסט יוסר במלואו, ללא...