http://patio-ir-comfort.com/he/tags/%D7%AA%D7%9E%D7%99%D7%9B%D7%94/ Recent content in תמיכה on Patio Infrared Heating Comfort Hugo he Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/he/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Thu, 18 Jun 2026 01:02:14 +0800 http://patio-ir-comfort.com/he/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="תמיכה טכנית לחימום הוופרים"></p> <p>במחלקת הליתוגרפיה, לומדים מהר שאפילו שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לגרום לסטייה בתכונות ה-CD. ואם החימום החזק יהיה חם מדי באזורים מסוימים, ייווצרו כתמים שיפגעו באיכות הבדיקה. חימום הווופר אינו פעולה שנעשית ברקע – הוא קובע את התנאים התרמיים של כל שכבה שנוצרת. כשהאחידות נפגעת, לא ניתן לשלוח את הווופר לשימוש – יש להשקיע זמן בתיקון הבעיות.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים במקורות אינפרא-אדום מבוקרים – גלים קצרים ובינוניים – בשילוב עם רכיבי קוורץ-הלוגן, כדי להשיג תגובה מהירה ויציבה. המפרט החשוב באמת הוא האחידות החוזרת: ±0.1°C על פני שטח הוופר במהלך תהליך החימום. חשוב גם שהמערכת תתאים לסביבות מסוג Class 1–100, כך שלא ייווצרו חלקיקים והחימום יהיה יעיל. המערכת פועלת 24/7, עם פיקוח על מצב המנורות, שליטה קפדנית באנרגיה ופיצוי על שינויים תרמיים. כך, הטמפרטורה המבוקשת תהיה אכן הטמפרטורה שמושגת, ולא רק תקווה.</p> http://patio-ir-comfort.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:35 +0800 http://patio-ir-comfort.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מחמם תמיכה להסרת פוטורזיסט"></p> <p>על רצפת הליתוגרפיה, הסרת הפוטורזיסט אינה עצירה פסיבית – זו תהליך תרמי שצריך לבצע את תפקידו בניקיון מוחלט. יש צורך שהפוטורזיסט יוסר במלואו, ללא שאריות, ללא הצטברות מחדש ובלי לגרום ללחץ על ערימת המשטחים. כאשר גוף החימום התומך לא מצליח לעמוד בדרישות, הקו מרגיש זאת מיד. פגמים מתפתחים, ספירת החלקיקים עולה, ודוח התפוקה משקף כל דריפט במעלות.</p> <p>תכננו את גוף החימום התומך להסרת פוטורזיסט לטפל ברגע זה עם בקרה תרמית חזרתית וחומרים המותאמים לסביבה נקייה. בייצור מוליכים למחצה, ההתנהגות התרמית היא התנהגות התהליך – אי אפשר להפריד ביניהן.</p>