Fermate la contaminazione delle wafer prima che inizi: un modo migliore per utilizzare le lampade a infrarossi
In un ambiente di produzione a alta scala, il guasto di una lampada rappresenta un problema serio, non solo un fastidio temporaneo. È davvero un incubo.
Immaginate che un tubo di quarzo si rompa proprio sopra le wafer: non si tratta soltanto di una lampada rotta, ma di frammenti di vetro e sostanze chimiche che distruggono l’intero lotto di prodotti. È un disastro. Ecco perché abbiamo progettato lampade a infrarossi prive di ozono, per eliminare questo rischio fin dall’inizio.
Il problema dell’ozono
Le lampade a infrarossi a onde corte emettono radiazioni nella gamma dei 185 nm. Questo sembra tecnico, ma in realtà significa semplicemente che queste lampade trasformano l’aria intorno a sé in ozono.
In una sala pulita, l’ozono è un gas corrosivo: corrode gli strati organici presenti sulle wafer. Per ovviare a questo problema, utilizziamo additivi specifici e tubi di quarzo in grado di filtrare le radiazioni UV. In questo modo si ottiene ancora tutto il calore necessario per una rapida indurimento delle wafer, senza però gli effetti negativi legati alle sostanze chimiche.
Come evitare i danni
Lo shock termico è il vero problema. Quando le lampade vengono accese e spente rapidamente, il quarzo si espande e si contrae, fino a rompersi. Utilizziamo quindi quarzo fuso ad alta purezza per aumentare il punto di fusione del materiale, rendendo così i tubi più resistenti. Ma non ci siamo fermati qui: abbiamo aggiunto rivestimenti protettivi che funzionano come una sorta di “rete di sicurezza”. Se il filamento interno si rompe o il tubo si crepa, i rivestimenti esterni catturano i frammenti, mantenendo così le wafer pulite.
Gli svantaggi (perché niente è perfetto)
Sono onesto con voi: esiste un piccolo svantaggio. I rivestimenti privi di ozono bloccano una piccola parte della luce infrarossa. Potreste notare una diminuzione del calore prodotto dell’5-10%. Non è un problema insormontabile, ma probabilmente dovrete aumentare l’intensità della lampada o far sì che le wafer rimangano nel campo di azione della lampada per un periodo più lungo.
Un altro consiglio: controllate il sistema di raffreddamento. Queste lampade tendono a concentrare il calore alle estremità. Se il flusso d’aria non è adeguato, gli elettrodi si deterioreranno molto più velocemente del previsto.