http://patio-ir-comfort.com/it/tags/fotoreist/ Recent content in Fotoreist on Patio Infrared Heating Comfort Hugo it Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/it/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sun, 31 May 2026 23:48:34 +0800 http://patio-ir-comfort.com/it/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://patio-ir-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Riscaldatore di supporto per la rimozione del photoresist"></p> <p>Sulla linea di litografia, lo stripping non è una semplice sosta passiva, ma un processo termico che deve svolgere il proprio compito in modo pulito. È necessario che il photoresist si sollevi completamente, senza residui, senza re-depositi e senza stressare la pila di wafer. Quando il riscaldatore di supporto non raggiunge la temperatura desiderata, la linea lo percepisce immediatamente. I difetti aumentano. Il conteggio delle particelle cresce. E il foglio di resa mostra ogni grado di deriva.<br> Abbiamo progettato il riscaldatore di supporto per lo stripping del photoresist per gestire questo momento con un controllo della temperatura ripetibile e materiali idonei all’uso in cleanroom. Nella produzione di semiconduttori, il comportamento termico è comportamento di processo—non si possono separare i due aspetti.</p>